Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4520i #293595654 à vendre en France
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ID: 293595654
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
Etcher, 8"
1996 vintage.
LAM RESEARCH Rainbow 4520i est une plate-forme de graveur/asher fiable et avancée. Il est équipé d'une capacité de traitement monobloc et de multiples configurations de sources de gravure/décapage, ce qui en fait une solution idéale pour un large éventail d'applications complexes. Il est capable de produire des gravures et des cendres à l'échelle nanométrique, idéales pour le développement et la production de produits semi-conducteurs. Le 4520i utilise une source de plasma à basse pression, couplée inductivement avec une tête de douche cylindrique en quartz, ainsi qu'une source de plasma à haute fréquence. Cette configuration à double source assure à la fois l'uniformité et la sélectivité de gravure spécifique sur une large gamme de processus. Le système comprend également une chambre à quartz, qui permet une faible utilisation des gaz de procédé, permettant au système de fonctionner avec une empreinte carbone réduite. Rainbow 4520i dispose d'une empreinte ultra-compacte et d'une interface utilisateur facile à utiliser, ce qui lui permet d'être intégré efficacement dans n'importe quel environnement de production. De plus, le système offre un environnement exceptionnel de salle blanche Level-1 Class 100, permettant des processus plus efficaces tout en minimisant la contamination et les signaux interférents. Le 4520i offre également une combinaison puissante de capacités de contrôle et de surveillance des processus, offrant une flexibilité et des capacités à valeur ajoutée. Cela comprend l'inclusion d'un étage de wafer rempli de cames, de systèmes de contrôle RF intégrés, de contrôle complexe de chambre, de cartographie de wafer et d'historique de processus pour traiter les non-uniformités spatiales et temporelles. Cette capacité de précision offre un équilibre parfait entre les performances des processus de gravure et l'automatisation. Le 4520i comprend également une série de capacités avancées de surveillance et de diagnostic des pannes, y compris le diagnostic par chaîne d'électrodes et la surveillance électrique. Ces fonctionnalités fournissent un ensemble d'outils expansif pour le contrôle des processus, l'optimisation et le diagnostic. LAM RESEARCH Rainbow 4520i est une solution optimale pour toute gravure ou application asher. Il dispose d'un ensemble robuste de fonctionnalités, de capacités de contrôle de processus et de fonctions de diagnostic, lui permettant d'être utilisé efficacement et précisément pour des applications complexes. Sa configuration plasma à basse pression et à couplage inductif et son ensemble de fonctionnalités avancées en font un choix idéal pour un traitement de gravure/asher efficace, précis et économique.
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