Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4520i #293622809 à vendre en France
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ID: 293622809
Taille de la plaquette: 8"
Etcher, 8"
Bulkhead
Hine indexer
Isotropic chamber with ADVANCED ENERGY AxZ match
ADVANCED ENERGY RFG 1250 ISO RF Generator
(2) Gas line ISO chambers
Perimeter lift ceramic ESC
ADVANCED ENERGY PDW 2200 Main chamber RF generator
(6) Gas lines main chambers
RF Cart
Remote power module.
LAM RESEARCH Rainbow 4520i est un graveur/asher haute performance conçu pour des applications telles que l'écriture directe et la fabrication d'appareils 3D. Il offre un certain nombre de caractéristiques, telles qu'un pas haute résolution, une large gamme de taille de plaquettes, et une grande bibliothèque de ensembles de recettes, qui en font un choix idéal pour de nombreuses industries. Rainbow 4520i utilise un design pas à pas avancé, avec un grand nombre de points de positionnement et un équipement d'entraînement efficace. Cela permet une grande précision et un positionnement rapide sur toute la surface d'une plaquette. Le stepper est capable de produire des motifs avec une résolution micronique et peut précisément graver ou cendres à la fois des géométries standard et complexes à la surface de la plaquette. Le système est également équipé d'une unité d'alignement laser (LAS), qui aligne automatiquement la plaquette avant chaque étape de traitement pour une précision maximale. La machine est livrée avec une large gamme de tailles de plaquettes, avec un maximum de 13 pouces de diamètre. Il peut manipuler des substrats de différentes épaisseurs, des matériaux tels que le silicium, le quartz ou la céramique, ainsi que plusieurs plaquettes à la fois. En outre, LAM RESEARCH Rainbow 4520i dispose d'un grand nombre d'ensembles de recettes afin d'adapter rapidement les paramètres du processus aux exigences de l'application. Rainbow 4520i est alimenté par le logiciel LAM RESEARCH flexFAB, qui offre une interface graphique conviviale et une surveillance vidéo en temps réel du processus de gravure/cendres. Le logiciel est conçu pour faciliter la mise en place et le stockage des recettes, acquérir des données sur l'état d'un processus, calibrer l'outil pour une plus grande précision, ainsi que personnaliser les paramètres de processus pour une gamme de matériaux. Le logiciel offre également un certain nombre de diagnostics d'actifs, tels que l'examen de la qualité du modèle, sur gravure, et l'enregistrement des données environnementales. LAM RESEARCH Rainbow 4520i est un modèle de gravure/cendres polyvalent et performant conçu pour répondre aux exigences de la fabrication avancée d'appareils. Doté d'un stepper haute résolution et d'une large gamme de paramètres de processus, Rainbow 4520i est capable de produire des résultats supérieurs dans les géométries standard et complexes. Il est également livré avec un certain nombre de fonctionnalités innovantes et une interface graphique conviviale pour un contrôle de processus simplifié. L'équipement est idéal pour une gamme d'industries, de la fabrication de semi-conducteurs à la fabrication de dispositifs optiques.
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