Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4520i #9114147 à vendre en France
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Vendu
ID: 9114147
Taille de la plaquette: 8"
Etcher, 8"
SMIF
Isotropic chamber
(26) Slots
Chamber:
Single chamber with variable gap electrode
Main chamber:
(6) Gases
RF Generator model: PDW-2200
RF Power supply: 2.2 kW & 400 kHZ
Isotropic chamber:
(3) Gases
RF Generator model : RFG1250
RF Power supply: 1.2 kW & 13.56 MHz
Automatic match system (LOFAT)
ISO Chamber matcher (AE Matcher AZX 10)
Electrode temperature unit interface
Endpoint detector: Monochronometer
ASS’Y ELCTD,ESC,8”,SEMI: 839-440462-308 (High resist ESC)
Semi open loop back HE cooling
OBITAL Gas box configuration
XLL Wafer detector sensor
Remote interface
Viton O-ring
N2 Ballast Kit
Standard clean gas box
Remote AC control box
Wafer transfer:
Cassette to cassette (Hine 38A indexer)
Pick & place single wafer transport with non contact wafer alignment & flat zone orientation
System controller:
ENVISION E1.5.2 Control system with LCD Monitor
Pressure control:
Automatic pressure control AC-2: Main chamber / Isotropic chamber
Process gas configuration:
Standard clean gas box with 9 MFC's for reaction
Make Model Gas Full scale
MILLIPORE FC-2900V Ar 1000
MILLIPORE FC-2900V CF4 100
MILLIPORE FC-2900V CHF3 100
MILLIPORE FC-2900V He 1000
MILLIPORE FC-2900V O2 500
MILLIPORE FC-2900V N2 100
MILLIPORE FC-2900KZ NF3 1000
MILLIPORE FC-2900V He 500
MILLIPORE FC-2900V O2 100
Main frame / System controller:
(2) Indexers line 38A (853-012600-101, 853-012600-102)
ISO Chamber top gatch (AE Matcher AZX 10) 660-021964-001
Process chamber:
ESC 8" Notch, ceramic 839-440462-308
Electrode, silicon, hi temperature, polish, 8" 839-011907-913
Remote frame:
Chiller: SMC INR-497
Pump:
AA70W
(2) AA40W
Power requirements:
Etcher: 208 V, 3 Phase, 30 A, 5 Wires
RF Cart: 208 V, 3 Phase, 50 A, 5 Wires
1995 vintage.
LAM RESEARCH Rainbow 4520i etcher/asher est un équipement très avancé et fiable utilisé dans le processus de fabrication de cartes de circuit. Il est conçu pour graver avec précision et précision les composants critiques. Rainbow 4520i utilise une nouvelle technologie révolutionnaire pour assurer une gravure ou un coulis de plaquettes cohérents et fiables. Le processus de gravure/asher est nécessaire pour créer de petites structures et caractéristiques sur les plaquettes. RECHERCHE LAM Rainbow 4520i dispose d'un équipement de livraison chimique de dioxyde de chlore (ClO2) à haute énergie qui offre un taux de gravure supérieur, une sélectivité de surface, une uniformité et une qualité de profil de bord. Ce système élimine la nécessité de nombreux processus de gravure-retour, permettant d'améliorer le flux de processus, et permet de rester rentable. L'etcher/asher est équipé d'un sous-système optique de haute précision qui permet aux utilisateurs de définir étroitement la zone de traitement. Le sous-système optique dispose également de niveaux élevés de contrôle de l'énergie et contient des buses de pression réglables pour une optimisation ultérieure du processus. Pour assurer une productivité maximale, Rainbow 4520i contient également une unité d'échange automatique de plaquettes et une fonction de chargement automatique pour accélérer les étapes de traitement. LAM RESEARCH Rainbow 4520i est livré avec une interface graphique conviviale qui fournit une façon simple et intuitive de gérer les processus complexes de gravure et d'asher. L'interface graphique facile à utiliser permet aux utilisateurs de configurer et d'ajuster rapidement les paramètres du processus de la plaquette pour obtenir des résultats optimaux. Pour améliorer encore la productivité, Rainbow 4520i est équipé d'une fonction de compensation automatique de sélectivité, qui optimise les paramètres de processus pour garantir les meilleurs résultats possibles. D'autres caractéristiques de LAM RESEARCH Rainbow 4520i comprennent une fonction intégrée pour aider à suivre les données de processus, déterminer les résultats rapidement et avec précision, prédire le débit futur et ajuster les recettes au besoin. Pour plus de commodité, la machine comprend également un port USB standard, qui permet de la connecter directement à un ordinateur ou à un réseau. Dans l'ensemble, Rainbow 4520i etcher/asher est un outil supérieur pour obtenir des résultats supérieurs dans la gravure et la cueillette des composants critiques. Ses puissantes capacités, son interface utilisateur intuitive et son automatisation avancée en font un chef de file dans la technologie de gravure et d'ashing.
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