Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4520i #9171647 à vendre en France
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ID: 9171647
Taille de la plaquette: 8"
Dry etcher, 8"
SMIF Type
Process kit
MFCs:
ESC
UPC.
LAM RESEARCH Rainbow 4520i est un graveur/asher plasma de haute qualité conçu pour des applications industrielles et académiques. Le dispositif est capable de produire des taux de gravure et de cendres allant jusqu'à 30 microns par minute, et peut être utilisé pour traiter une grande variété de matériaux, y compris le silicium, le polyimide, l'aluminium, la céramique et les métaux. Rainbow 4520i dispose d'un système de positionnement rapide à haute vitesse, permettant un positionnement rapide et précis des paramètres de travail, et une uniformité de gravure et de cendres à haute résolution. Le dispositif a un taux de gravure très rapide, et est capable de gravure haute uniformité et ashing sur divers matériaux, même ceux avec de très petites tailles de caractéristiques. LAM RESEARCH Rainbow 4520i est très efficace et peut traiter de grandes quantités de matériaux en très peu de temps. Il a un haut niveau de contrôle de processus et de précision, permettant une gravure et une aspérité cohérentes sur un large éventail de matériaux et de substrats. De plus, le dispositif est capable de fonctionner en plusieurs zones, permettant une gravure/cueillette uniforme de plusieurs matériaux à la fois. Il dispose également de systèmes d'interception intégrés pour assurer une sécurité maximale, et est conçu avec une enceinte extrêmement efficace pour prévenir les fuites ou l'accumulation de produits chimiques. Rainbow 4520i est un graveur/asher très efficace et polyvalent, et est bien adapté pour une variété d'applications industrielles et académiques. Le dispositif est équipé d'une gamme de caractéristiques, permettant une gravure précise, de haute uniformité et la cueillette d'une large gamme de matériaux, même ceux avec de très petites tailles de caractéristiques. Sa vitesse de gravure rapide et son haut niveau de contrôle des processus permettent une gravure et une aspérité cohérentes sur un large éventail de matériaux et de substrats. De plus, son fonctionnement en plusieurs zones et ses systèmes d'interception intégrés en font un graveur/asher sûr et fiable pour les applications industrielles et académiques.
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