Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4520i #9180717 à vendre en France
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ID: 9180717
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2004
Dry etcher, 6"
Clamped chuck
Verity enhanced endpoint detection
Hines indexers
Matching network: LoFat
ISO Matcher: Yes
Top and bottom RF cables: Standard
Chamber process kit parts:
Pick and place wafer transport with non-wafer contact optical alignment
Inductive RF auto tuning: Fast accurate RF tuning for precise control
Active temperature control of upper and lower electrodes
Vacuum load-locked low pressure oxide system
Parallel plate reactor: Proven etch technology
Variable gap spacing: Wide process flexibility
Integrated isotropic-anisotropic etching
(2) Active chambers
Flat notch orientation
Upper and lower baffles
Electrode clamp ring
Attachment ring
Filler ring lower clamp
Focus ring edge lower
Vespel confinement ring
Bottom wafer clamp
Bell jar
Single wafer
4520i Isotropic etch chamber:
Integrated into entrance load-lock
1250 Watt solid state
Water cooled remote isotropic chamber RF generator
RF Match housing resides at the left side of the isotropic module
(3) MFCs For isotropic chamber
Pressure controller for helium backside wafer cooling
Hinged upper housing of isotropic chamber
Air blower assembly
OEM Specifications / Typical results:
Dry pumps / Chiller not included
Selectivity BPSG/TEOS to poly: >15:1
Thermal oxide etch rate: ≥ 4500A/min
BPSG Etch rate: >7500 A/min
TEOS Etch rate: >5000 A/min
Particles: 0.3μm size
Uniformity: +/- 10% 3
4520 Anisotropic etch chamber:
Single wafer etch: Individual wafer etch
Wafer temperature control:
Reduced loading effects
Profile control with extended over etch
LAM RF Generator rack:
Main RF generator
ISO AE RFG 1250 RF Generator
2004 vintage.
RECHERCHE LAM Rainbow 4520i wet etcher/asher est un équipement de gravure plasma de pointe pour une variété de matériaux, dont l'aluminium, le cuivre, le silicium et d'autres métaux durs. Le système a une répétabilité élevée et est conçu pour des applications semi-conductrices de haute précision. Avec une cellule standard, Rainbow 4520i fournit des résultats uniformes et reproductibles tout au long du cycle de gravure. L'unité dispose d'une machine de contrôle de processus avancée, fournissant un contrôle en temps réel de la température et de la pression de la plaquette, tout en optimisant le temps de cycle de gravure et en conservant la solution de gravure. L'outil est équipé d'une source de puissance à fréquence variable et d'une source de résonance électro-cyclotron avancée (ECR) pour obtenir une gravure isotrope uniforme sur la surface de la plaquette. Le gaz et/ou les vapeurs sont mélangés et régulés selon les besoins pour un type particulier de substrat et de matériau déposé. L'utilisation d'un contrôleur numérique permet un contrôle précis des niveaux de puissance, de la température et de la durée de gravure. L'actif soutient également une variété de stratégies de refroidissement, assurant un contrôle thermique uniforme de la surface de la plaquette. Il comprend un modèle avancé de contrôle des impuretés qui aide à maintenir une surface de gravure de haute qualité. L'équipement de contrôle des impuretés est facilité par un système de lavage unique qui utilise une combinaison d'un lavage à brosse souple et d'une technique de nettoyage à micro-flux. L'unité comprend également une gamme d'outils et d'accessoires pour répondre aux exigences spécifiques de gravure des matériaux. Il est équipé d'une gamme de broches de levage et de buses flexibles conçues pour graver différents motifs et tailles. En outre, la machine supporte également plusieurs gaz et/ou vapeurs pour créer diverses surfaces de gravure allant d'une gravure extrêmement profonde à une gravure peu profonde. Dans l'ensemble, l'outil de gravure Rainbow 4520i de LAM RESEARCH est une machine efficace avec diverses caractéristiques qui fournissent des résultats de gravure précis et reproductibles qui sont sans égal. Ses fonctionnalités avancées lui permettent de graver plusieurs types de matériaux et son actif de contrôle de processus aide à maintenir le processus de gravure uniforme et cohérent. Les buses flexibles et les gaz multiples offrent une gamme de styles de gravure allant des gravures extrêmement profondes aux gravures peu profondes. La technologie sophistiquée de la machine de gravure en fait l'une des meilleures sur le marché.
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