Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4520i #9205536 à vendre en France

LAM RESEARCH Rainbow 4520i est un outil avancé de gravure/cendres idéal pour une large gamme d'applications de gravure/cendrage de plaquettes. L'équipement Rainbow 4520i a été spécialement conçu pour optimiser les paramètres de processus et les performances. La conception avancée du 4520i réduit la complexité et élimine les mises à niveau coûteuses, tout en fournissant un contrôle de processus supérieur et la génération de plasma. RECHERCHE LAM La technologie avancée de gravure/cendres Rainbow 4520i offre à l'utilisateur un procédé automatisé à haute vitesse à base de plasma pour graver et aspirer une grande variété de matériaux pour des applications semi-conductrices. Rainbow 4520i est équipé d'un certain nombre de caractéristiques qui fournissent le maximum de contrôle de processus et d'efficacité de wafer. Son module de processus universel (UPM) permet l'échange rapide de plusieurs modules de processus sans avoir à retirer la plaquette du système. Cela permet de traiter plusieurs gravures/cendres en une seule unité. LAM RESEARCH Rainbow 4520i dispose également d'outils de diagnostic puissants et de logiciels d'analyse, rendant la surveillance et l'optimisation des processus plus faciles que jamais. Le 4520i a un support de substrat de grande capacité qui est idéal pour traiter une variété de substrats en même temps. Le support de substrat peut contenir jusqu'à deux cents plaquettes de 200 mm (en option une plaquette de 300 mm) et quatre plateaux correspondants qui peuvent déplacer les plaquettes par rapport à la chambre de procédé. Le support de substrat comprend également des chauffages individuels de plaquettes, permettant un chauffage indépendant par plaquette, ce qui peut contribuer à améliorer l'homogénéité des procédés. Rainbow 4520i est une machine avancée à haut débit, permettant la gravure rapide et la cueillette de matériaux destinés à des applications en microélectronique. L'outil utilise des procédés plasma avancés pour générer un flux de plasma qui est optimisé pour la gravure et l'ashing de matériaux pour une variété d'applications différentes. L'actif est conçu avec une voie pour les processus sans support et utilise des réseaux de buse pour assurer des processus de gravure et d'ashing uniformes. LAM RESEARCH Rainbow 4520i est également disponible avec la suite logicielle PowerPAC qui est conçue pour améliorer le rendement des processus, gérer le temps et améliorer la cohérence des processus. La suite logicielle PowerPAC compile toutes les fonctions de contrôle, d'optimisation, d'archivage et de modélisation fondamentale en un paquet facile à utiliser. Avec PowerPAC, les opérateurs peuvent facilement surveiller, optimiser et rationaliser plusieurs processus de gravure/cendres. En conclusion, Rainbow 4520i est un outil de procédé de gravure/cendres avancé, idéal pour une large gamme d'applications de gravure et de cendrage de plaquettes. La conception avancée du modèle réduit la complexité et élimine les mises à niveau coûteuses tout en fournissant un contrôle de processus supérieur et la génération de plasma. L'équipement est équipé d'un certain nombre de fonctionnalités qui fournissent aux utilisateurs un processus automatisé, à haut débit, à base de plasma, permettant de multiples processus de gravure/cendres dans un système.