Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4520XLE #9097262 à vendre en France
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Vendu
ID: 9097262
Taille de la plaquette: 8"
Poly etcher, 8"
Wafer type: flat
Processing type: vacuum
Wafer loading type: normal
Auto Pressure Controller (APC): VAT 84020-R1
Baratron 1: MKS 623 10torr
Baratron 2: MKS 622 2torr
Convectron G/Phillips 275
TMP: Vacuum TC 440-C
TMP controller: Vacuum TC 440-C
Robot: -
Robot controller: -
Generator: ENI GHW 26
Match: ENI MWM-25-02
AC rack: yes
RF controller: yes
Chiller: M and W RPC2/28W-
Process: Edwards E2M40 PFPE
Load lock: Edwards EH-250
Booster: Edwards E2M40
MFC:
Gas 1 O2 500sccm
Gas 2 N2 50sccm
Gas 3 CHF3 50sccm
Gas 4 Ar 1sccm
Gas 5 CF4 100sccm
Gas 6 He 50sccm.
LAM RESEARCH Rainbow 4520XLE etcher/asher est un équipement de gravure plasma de précision conçu pour fournir des résultats supérieurs et cohérents dans des conditions environnementales exigeantes. Ce système avancé dispose d'une plate-forme sous vide fiable et d'une conception ergonomique pour permettre aux utilisateurs d'obtenir un traitement précis et efficace des plaquettes. Le 4520XLE offre une variété de fonctionnalités avancées telles qu'un générateur RF double mode, une gamme de fréquences étendue (450 kHz à 2 GHz) et un mécanisme de verrouillage de charge à deux chambres. Cette unité offre également un haut degré de flexibilité qui permet une adaptation à une grande variété d'applications telles que la gravure profonde et le contrôle de profil. Le mécanisme de verrouillage de charge à double chambre assure un placement rapide et précis des plaquettes dans la chambre de traitement. La machine est équipée d'une source de plasma avancée fournissant un profil de gravure uniforme sur la zone de traitement. Le 4520XLE est équipé de plusieurs fonctionnalités conviviales et de puissantes capacités de contrôle des processus. Son interface utilisateur intuitive offre un accès facile à tous les paramètres de traitement, et le grand écran tactile couleur assure une navigation et un contrôle faciles des processus complexes. L'outil fournit également des capacités avancées de diagnostic à distance et de personnalisation logicielle, permettant aux utilisateurs de surveiller et de configurer facilement les paramètres de traitement à tout moment. Le 4520XLE est conçu pour offrir une fiabilité supérieure et des performances robustes dans des conditions environnementales difficiles, telles que des températures élevées, une humidité élevée et une pression élevée. Sa conception mécanique comprend un atout d'isolement pour réduire les vibrations afin d'assurer des résultats précis et cohérents dans diverses conditions de fonctionnement. En outre, le modèle est conçu pour fonctionner selon divers protocoles de sécurité et répond à toutes les normes pertinentes de l'industrie. En conclusion, LAM RESEARCH RAINBOW 4520 XLE est un équipement avancé de graveur/asher conçu pour répondre aux exigences d'une grande variété d'applications. Ses caractéristiques innovantes et fiables, combinées à un contrôle et une efficacité supérieurs des processus, fournissent aux utilisateurs un outil puissant pour obtenir des résultats cohérents et précis dans des conditions environnementales difficiles.
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