Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4526 #9230652 à vendre en France

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ID: 9230652
Taille de la plaquette: 6"
Oxide etcher, 6" Clamp Gas standard: Ar, CF4, CHF3, O2, He, N2 Anisotropic chamber Chambers type: Anodized Al Gap leads screw missing RF Generators: 2200 W Standard Power requirements: 208 Volts / Amps.
LAM RESEARCH Rainbow 4526 est un équipement de graveur et asher pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. Le système Rainbow 4526 offre un contrôle et une répétabilité améliorés des processus grâce à une conception d'unité intégrée qui combine une chambre de processus contrôlée par la température, une surveillance et un contrôle complets des processus, et un transport et une manutention fiables des plaquettes. LAM RESEARCH Rainbow 4526 est capable de multiples processus de gravure et d'ashing pour l'industrie standard Si, GaAs, InP, Poly-Si, SOI, et d'autres matériaux. Il a une conception exclusive « hybride » de chambre de traitement à paroi chaude qui permet de réduire les températures de processus, le débit plus rapide, la pression globale plus basse, et une plus grande fiabilité des motifs de plaquettes. La capacité de manutention des plaquettes de 2,5 pouces, la machine de transport sans porteur et la capacité d'effectuer des processus à la fois humides et secs rendent l'outil adapté à une variété d'applications de fabrication de semi-conducteurs. Rainbow 4526 est livré avec des modules intégrés matériels et logiciels qui permettent une surveillance et un contrôle efficaces des processus. L'actif dispose de capacités avancées de cartographie de paramètres et est capable de graver et d'ashing de multiples niveaux de modèles avec une grande précision et contrôle. Un module de contrôle de processus intégré garantit un contrôle de processus répétable tandis que les recettes intégrées permettent un développement et une migration de processus rapides. Le modèle dispose de nombreuses caractéristiques de sécurité pour protéger le personnel et les composants. Il est livré avec une chambre secondaire intégrée et contrôlée par la température pour minimiser les chocs thermiques et maximiser la stabilité des conditions de processus. Pour compléter les fonctions de sécurité, LAM RESEARCH Rainbow 4526 dispose également d'un accès avant et arrière complet avec un design ergonomique qui permet un accès facile pour les opérations d'entretien et de réparation. En résumé, l'équipement Rainbow 4526 etcher and asher est un outil polyvalent, fiable et économique pour la fabrication de plaquettes semi-conductrices. Sa conception intégrée combine des modules matériels et logiciels pour la surveillance et le contrôle des processus, un système de transport sans wafer, une chambre de processus contrôlée par la température et de nombreuses fonctions de sécurité qui protègent le personnel et les composants. Cela en fait une solution complète pour la gravure et l'ashing de plusieurs niveaux de motifs avec une grande précision et répétabilité.
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