Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4528 #9011008 à vendre en France

LAM RESEARCH Rainbow 4528 est un graveur/asher conçu pour la production à haut volume de composants semi-conducteurs. Il s'agit d'un équipement entièrement automatisé de gravure/asher monobloc avec une plate-forme capable de traiter jusqu'à 300 mm de plaquettes avec des procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) à basse pression et de CVD amélioré par plasma (PECVD) à haute performance. Rainbow 4528 a une architecture modulaire qui permet à l'utilisateur de personnaliser le système à leurs besoins spécifiques, et comprend un mandrin électrostatique qui peut être utilisé pour positionner précisément des plaquettes sur la chambre vers le bas. La gravure/asher dispose de deux sources de plasma indépendantes et d'une unité de contrôle dynamique de la pression, permettant à l'utilisateur d'ajuster avec précision la pression et la vitesse de gravure de la chambre du réacteur. Il dispose également d'une machine de polissage pour le traitement post-gravure, pré-assemblage, d'un échangeur de chaleur sous vide pour améliorer les performances, et d'un outil de convoyage de haute précision contrôlé par lot qui peut transporter jusqu'à cinq plaquettes par procédé, réduisant le temps de cycle et augmentant le débit. De plus, LAM RESEARCH Rainbow 4528 assure la surveillance en temps réel des paramètres critiques du processus tels que le débit de gaz, la pression, la température et la décharge électrique. Sa capacité sophistiquée de cartographie des plaquettes fournit à l'utilisateur une rétroaction détaillée sur l'efficacité de la recette, tandis que son inspection à travers l'objectif des plaquettes. Rainbow 4528 est une solution de graveur/asher efficace pour une large gamme de produits semi-conducteurs.