Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4528 #9244836 à vendre en France
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ID: 9244836
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1994
Etcher, 8"
Non-SMIF type
Automation online component: SECE
Flat orientation type
BCR
Transfer robot: Homonic driver
One process module chamber
Plasma source options: 27/2 MHz Maximum
2500 W Generator
Chuck type option: Bipolar ESC
Wafer pin-up option: Air cylinder
Gas:
(6) Gas lines
MFC Type: Analog
MFC Maker: Unit 8160
Vacuum pump: QDP80
Turbo pump: TS443BW
Signal tower
UPS: 120 VAC, 60 Hz, 3 Phase, 175A
Power: 208 VAC, 60 Hz, 3 Phase, 115A
1994 vintage.
LAM RESEARCH Rainbow 4528 est un graveur/asher conçu pour la production avancée de semi-conducteurs. C'est un équipement automatisé avec des capacités précises de température, de vide et de contrôle chimique. Le système dispose d'un module de processus configurable à plusieurs niveaux, permettant à l'unité d'exploitation embarquée de définir et de rappeler plusieurs recettes de processus. La chambre est en acier inoxydable, avec des fenêtres en verre pour surveiller la santé de la machine et prévenir la contamination. Rainbow 4528 dispose d'un module de processus à quatre zones, permettant d'effectuer différents processus de gravure et d'ablation dans des zones distinctes. Le module de procédé utilise trois bras externes pour les gaz de procédé supplémentaires, et une roue tournante pour la commutation rapide entre les recettes et les chambres de traitement. L'outil est également équipé d'un mécanisme breveté d'embrayage et de verrouillage des roues, qui permet une rotation lisse et précise, même entre les grandes chambres. Les paramètres du processus peuvent être ajustés de façon autonome en utilisant le logiciel intégré et une variété de recettes de processus peuvent être stockées. L'actif comprend également un modèle de surveillance intégré qui permet à l'utilisateur de surveiller la santé de l'équipement, l'état du processus et la température de la chambre. La construction robuste de LAM RESEARCH Rainbow 4528 garantit des performances fiables, même dans des conditions de production difficiles. Ce système est idéal pour les débits industriels et la mise à l'échelle des lignes de produits. Avec une chambre sous-micron active, Rainbow 4528 est également capable de traiter des caractéristiques jusqu'à 0,5 microns. L'unité de sécurité intégrée et les alarmes assurent la sécurité des opérateurs et la qualité des produits. LAM RESEARCH Rainbow 4528 est conçu pour des environnements de production avancés, capable de créer des recettes de processus complexes adaptées à des produits spécifiques. La machine est largement compatible avec d'autres produits LAM RESEARCH ; en faire un choix optimal pour la production de semi-conducteurs. L'interface graphique intuitive permet une configuration facile et l'outil dispose de différentes fonctions d'automatisation pour des processus simples et reproductibles.
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