Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4600 #9313103 à vendre en France

LAM RESEARCH Rainbow 4600 est un graveur/asher haut de gamme à haut débit avec une plate-forme modulaire composée d'un plateau et de quatre chambres qui permettent une configuration dynamique en mode recette unique ou en mode recette multiple. Cette flexibilité permet le traitement d'un large éventail de matériaux, y compris, mais sans s'y limiter, des films épais et minces, des métaux, du verre, des matériaux diélectriques et des matériaux à faible intensité. Les deux principaux procédés de Rainbow 4600, la gravure et la mise à jour, sont réalisés à l'aide de diverses sources de plasma, comme les plasmas à biais RF et DC, et de systèmes tels que les chambres de gravure, les cendres et les chambres de dépôt en phase vapeur. Les modèles de chambre pour les opérations de gravure convenant à LAM RESEARCH Rainbow 4600 comprennent des configurations à chambre simple, chambre double et chambre quad. Sa plate-forme modulaire offre également des possibilités de programmation manuelle ou automatique, de contrôle des processus et d'enregistrement des données. Rainbow 4600 est capable de produire une gravure précise sur divers matériaux et tailles de plaquettes avec une grande uniformité et une haute sélectivité, et avec une répétabilité de 0,5 %. Ceci permet la planarisation des surfaces et la gravure sélective de caractéristiques spécifiques avec une répétabilité optimale. LAM RESEARCH Rainbow 4600 est livré avec des sources de plasma à couplage capacitif (CCP) et peut supporter l'auto-nivellement, l'appariement actif, et quelques autres fonctionnalités avancées qui le rendent adapté aux processus de nanotechnologie et autres processus nécessitant une gravure précise et des résultats optimaux à haut débit. Rainbow 4600 dispose également d'une interface utilisateur robuste et facile à utiliser qui aide à réduire les « effets de talon » sur les surfaces gravées en raison d'un contrôle de processus inexact. Le plateau comporte un couvercle tournant sous vide, un chargement aseptique et un déchargement, ainsi que la capacité d'effectuer des opérations de post-dépôt et de recuit. En outre, le système fournit également une interface intégrée de développement de recettes, avec laquelle les utilisateurs peuvent facilement programmer une variété de recettes de gravure. LAM RESEARCH Rainbow 4600 est également conçu pour un environnement de processus optimal. Il est livré avec une purge inerte et un système de refroidissement en boucle fermée pour garantir d'excellentes performances de refroidissement, une répétabilité accrue des résultats de processus, et une meilleure rentabilité et efficacité. En outre, son système de gestion thermique robuste fournit une chaleur et un refroidissement précis pour un contrôle maximal de la température, la répétabilité et la précision. Toutes ces fonctionnalités se combinent pour faire de Rainbow 4600 une solution de graveur/asher idéale et fiable.