Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4600B #9145833 à vendre en France

ID: 9145833
Plasma etcher, 8".
LAM RESEARCH Rainbow 4600B est un graveur/asher conçu pour la fabrication de plaquettes dans l'industrie des semi-conducteurs. Il offre un coût réduit de propriété, débit avancé et qualité d'image, et des procédures robustes pour le développement et le contrôle des processus. Rainbow 4600B utilise un design innovant à double chambre pour fournir un contrôle de processus supérieur avec une précision et une répétabilité élevées. LAM RESEARCH Rainbow 4600B est équipé de deux cellules de traitement électrochimique alternatif de pointe, chacune comprenant jusqu'à quatre électrodes et entraînements indépendants. Le 4600B est conçu pour faciliter l'accès à différents paramètres de traitement tels que la pression, la température, le débit et la concentration. Son fonctionnement convivial est rendu possible grâce à un logiciel intuitif de suivi et de contrôle des processus. Ce logiciel permet également de minimiser les variations de processus, les séquences de réchauffement et de rafraîchissement, et les temps de lavage/recharge des plaquettes pour une meilleure efficacité. Il fournit également la capacité pour des alarmes personnalisables, des alertes, et des recettes pour améliorer la productivité. Rainbow 4600B offre une excellente uniformité de ± 1,0 % avec une uniformité de gravure exceptionnelle sur toute la face de la plaquette. De plus, le 4600B supporte une gravure humide ou sèche, qui peut être nécessaire pour certains matériaux. Le 4600B est également capable de régler les épaisseurs des plaquettes gravées traversantes, ce qui permet d'exiger le contrôle des films et des structures post-gravure. LAM RESEARCH Rainbow 4600B est conçu avec des performances et une fiabilité à vie prolongée. Le système exclusif d'électrodes RF-On- Metal™ est utilisé pour maintenir un fond de particules faible et réduire la contamination. Le 4600B dispose d'une conception de construction modulaire spécialisée pour permettre un accès facile aux cellules de processus et éviter le besoin d'un appel de service pendant la maintenance. Enfin, le 4600B offre une faible empreinte, avec une empreinte totale de moins de 2m2, ce qui en fait un choix idéal pour un espace de travail limité.
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