Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4600B #9313104 à vendre en France

LAM RESEARCH Rainbow 4600B
ID: 9313104
Plasma etcher.
LAM RESEARCH Rainbow 4600B est un équipement de gravure et de cueillette à haute performance utilisé pour la gravure de divers matériaux de film tels que le silicium polycristallin, le dioxyde de silicium et le nitrure de silicium. Il utilise une puissante source laser ultra-violette (UV) avec une gamme allant jusqu'à 250 watts pour fournir des taux d'élimination exceptionnellement élevés pour même les matériaux les plus difficiles. En plus de sa grande capacité de chambre embarquée pouvant atteindre 350 mm x 350 mm, le système est conçu avec plusieurs fonctionnalités pratiques, telles qu'un étage intégré et de haute précision pour le positionnement précis du matériau du substrat, et un logiciel avancé et convivial pour contrôler le processus de gravure et de cueillette. Rainbow 4600B est capable d'obtenir d'excellents taux de retrait de film, même pour les films gravés complexes comme le silicium polycristallin, tout en conservant une grande précision et des caractéristiques de retrait uniformes. Cette puissante unité de gravure peut être utilisée pour des applications de processus à une ou plusieurs couches. Son architecture modulaire permet une évolutivité facile pour accueillir des volumes plus élevés tout en conservant des débits. LAM RESEARCH Rainbow 4600B est conçu pour être utilisé dans divers environnements de recherche et développement ainsi que de production. Sa conception robuste et fiable lui permet de fonctionner pendant de longues périodes, avec un minimum de temps d'arrêt et d'entretien. Sa chambre embarquée est facilement accessible et comprend un plateau d'alimentation manuel pour le chargement rapide et précis et l'alignement du matériau de substrat. En outre, sa machine intelligente de distribution de gaz assure des résultats de gravure et de cueillette uniformes. En bref, Rainbow 4600B est un outil de gravure et de cendrage très performant, précis et riche en fonctionnalités qui convient parfaitement à la recherche et au développement ainsi qu'à la production, fournissant des résultats uniformes de haute qualité dans un large éventail de matériaux. Son atout embarqué intégré et son logiciel le rendent à la fois convivial et efficace et son évolutivité assure que ses capacités de performance restent inchangées, même face à des volumes plus élevés.
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