Occasion LAM RESEARCH Rainbow 9600 #9389854 à vendre en France

RECHERCHE LAM Rainbow 9600 est un graveur/asher qui utilise une puissante source de plasma RF (Radio Frequency) haute fréquence. Rainbow 9600 a une puissance de source de plasma allant jusqu'à 200 watts et un volume de travail de 50 pieds cubes qui peut traiter des substrats allant jusqu'à 400 mm x 300 mm. Sa conception unique permet d'exécuter une grande variété de géométries de processus, comme la gravure et le nettoyage sur le même substrat dans une seule recette sans compromettre la répétabilité du processus ou le débit du substrat. Ce graveur/asher avancé dispose d'un procédé par lots intégré qui automatise la préparation du substrat et la formation de plasma pour des procédés reproductibles et un rendement de substrat supérieur. RECHERCHE LAM Rainbow 9600 dispose d'un équipement de verrouillage de charge qui peut stocker des substrats à diverses températures et conditions atmosphériques, assurant que les conditions de processus sont maintenues tout au long d'un processus par lots. De plus, la fonction de contrôle de pression absolue du système minimise les fluctuations du processus, ce qui réduit considérablement le risque de problèmes de rendement et de qualité du produit final. L'unité dispose également d'un générateur RF (Radio Frequency) propriétaire qui assure des performances de gravure et de nettoyage stables et cohérentes. Les ions focalisés à l'intérieur du plasma adhèrent à la surface du substrat, tandis que le plasma est uniforme et très réglable avec des paramètres programmables tels que le débit de gaz. Rainbow 9600 etcher/asher est construit avec la sécurité et la protection de l'environnement en tête. Il dispose d'une machine d'échappement monobloc qui permet le transport efficace des gaz toxiques de la chambre de fonctionnement et réduit les émissions dangereuses. En outre, l'outil a un choix de sept gaz standard, tous compatibles avec les certifications NFPA et la réglementation environnementale. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH Rainbow 9600 etcher/asher offre des performances et un débit de substrat supérieurs en raison de sa source de plasma haute fréquence RF (Radio Frequency) et de son ajustement complet des paramètres du processus. Ses caractéristiques de sécurité et de protection de l'environnement en font un outil idéal et fiable pour la production de substrats de haute qualité.