Occasion LAM RESEARCH RB 4528 #9115317 à vendre en France

LAM RESEARCH RB 4528 est un équipement de graveur/asher sec qui est utilisé pour graver et nettoyer une variété de substrats avec une extrême précision. Le système est équipé à la fois de capacités de traitement du plasma en aval et de gravure à sec avec un excellent fond dans la production de masse. Il est conçu pour fournir des rapports d'aspect élevés grâce à une technologie brevetée de refusion de gaz, qui fournit une sélectivité élevée pour les oxydes à basse température. RB 4528 est composé d'un ensemble de chambre robuste avec la conception avancée de la plaque de chicane pour optimiser l'exposition au plasma. Il a une conception à faible inductance avec une unité automatique de mesure de profil de chambre, permettant ainsi des processus de gravure répétables cohérents. La machine dispose d'un temps de démarrage rapide avec une résonance de source faible pour aider à éliminer l'arc et supporter des temps de rampe rapides pour réduire warpage due à des profils de température élevée. Le graveur-asher est équipé d'une chambre unique à double action innovante qui simplifie les processus de gravure classiques. La conception de la chambre dispose également d'une alimentation RF avec une technologie IGBT économe en énergie et une détection de point d'extrémité de haute précision pour assurer des processus de gravure stables et répétables. L'outil etcher/asher possède un atout de gestion de la chaleur très efficace pour les processus de gravure à sec et la capacité de dégazer des plaquettes avec plusieurs stations. Les moniteurs de processus intégrés ont un temps de réaction rapide pour assurer des résultats précis et ont un modèle de sécurité avancé, permettant à l'utilisateur de surveiller le processus à distance. L'équipement LAM RESEARCH RB 4528 etcher/asher est équipé de capacités optionnelles de manipulation de robot qui réduisent le temps de chargement et sont plutôt automatisés pour les processus continus, ce qui le rend adapté aux exigences de volume élevé. En outre, il dispose d'une large gamme de gaz et de consommables qui supportent un large éventail d'applications. Le système RB 4528 etcher/asher a révolutionné l'industrie avec sa conception robuste haut de gamme, ses performances fiables et ses capacités de haute précision. L'unité est vraiment inégalée en matière de précision de gravure et est donc devenue un outil de référence pour la production à petite échelle et de masse.