Occasion LAM RESEARCH SOSUL PES-2300 #293829871 à vendre en France
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LAM RESEARCH SOSUL PES-2300 est un équipement avancé de graveur/asher de plasma conçu pour des procédés de fabrication de semi-conducteurs précis et à haut débit. En tant que fournisseur leader d'équipements de traitement des plaquettes, LAM RESEARCH a développé le PES-2300 comme outil polyvalent et fiable pour les applications de gravure et de nettoyage dans l'industrie des semi-conducteurs. Le PES-2300 utilise une technologie sophistiquée de traitement du plasma pour graver ou nettoyer divers matériaux avec une grande précision et uniformité. Le système dispose d'une configuration à double source, qui permet d'effectuer simultanément ou séquentiellement la gravure ionique et la gravure ionique réactive. Cette capacité à double source permet au PES-2300 de répondre aux exigences strictes des procédés avancés de fabrication de semi-conducteurs. Une des caractéristiques clés du PES-2300 est ses capacités avancées de contrôle des processus. L'unité est équipée d'une chambre de procédé hautement configurable qui peut être adaptée à différentes applications et types de matériaux. Il intègre également des systèmes de suivi et de rétroaction en temps réel pour garantir des performances de processus cohérentes et des rendements élevés. Le PES-2300 est capable de manipuler une large gamme de tailles de substrat, des petites pièces aux grandes plaquettes de 300mm couramment utilisées dans la fabrication moderne de semi-conducteurs. La machine offre un haut niveau de flexibilité et d'évolutivité, ce qui la rend adaptée à la recherche et au développement ainsi qu'à des environnements de production à haut volume. L'outil de génération de plasma du PES-2300 est conçu pour une densité et une uniformité plasmatiques élevées. L'actif utilise une combinaison de sources de plasma à couplage inductif (PIC) et de plasma à couplage capacitif (PCC) pour obtenir un taux de gravure élevé et de faibles dommages au substrat. Le PES-2300 dispose également de systèmes avancés de livraison de gaz et de contrôle des processus qui assurent un contrôle précis des processus de gravure et de nettoyage. Le modèle peut être configuré avec une large gamme de produits chimiques à gaz pour répondre à différents types de matériaux et exigences de processus. En termes de sécurité et de fiabilité, le PES-2300 est équipé de dispositifs de sécurité de pointe et d'emboîtements pour protéger les opérateurs et les équipements en cours d'exploitation. L'équipement comprend également des capacités de diagnostic et de surveillance avancées pour détecter et prévenir les problèmes potentiels avant qu'ils n'affectent la performance du processus. Dans l'ensemble, SOSUL PES-2300 est un système de graveur/asher plasma très avancé qui offre des performances, une flexibilité et une fiabilité exceptionnelles pour les applications de fabrication de semi-conducteurs. Avec ses capacités avancées de contrôle des procédés, sa configuration à double source et sa densité de plasma élevée, le PES-2300 est bien adapté aux procédés de gravure et de nettoyage exigeants dans l'industrie des semi-conducteurs.
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