Occasion LAM RESEARCH STRIP45 #9244860 à vendre en France

LAM RESEARCH STRIP45 est un outil de gravure modulaire à haute performance utilisé pour les processus critiques de gravure et de nettoyage, y compris la formation de jonctions ultra-peu profondes, la prévention de la corrosion et l'élimination diélectrique. Elle est particulièrement bien adaptée aux applications du cuivre via et damascène dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est livré avec un certain nombre de caractéristiques qui en font un équipement de gravure puissant mais polyvalent, y compris un système RF avancé, chambre à quartz surdimensionnée, chargement d'une seule pièce, un contrôle de topo multi-niveau, et plusieurs modules de processus indépendants. Ces fonctionnalités se combinent pour rendre l'expérience utilisateur plus facile et plus efficace lorsque vous produisez les résultats gravés de la plus haute qualité. STRIP45 unité de gravure est équipée d'une large gamme de caractéristiques et d'accessoires pour une performance optimale. Il utilise une machine de puissance RF propriétaire, qui distribue l'énergie plus uniformément sur une plus grande surface et permet une uniformité de gravure accrue. Il contient également une chambre à quartz surdimensionnée, qui minimise le transfert thermique entre le substrat et le loadlock et réduit la contamination des particules. Pour faciliter le chargement, l'outil utilise une fonction de chargement de processus monobloc et peut traiter jusqu'à 2000 plaquettes. Une commande de topo à plusieurs niveaux permet une gravure et un déplacement précis de la plaquette à l'intérieur de l'outil, tout en maintenant l'uniformité et en abaissant les niveaux de défaut. En outre, plusieurs modules de traitement indépendants sont disponibles pour différentes applications de gravure et de nettoyage. Pour assurer une précision et une fiabilité maximales, l'actif de gravure LAM RESEARCH STRIP45 est équipé d'une variété de systèmes de contrôle et de surveillance avancés. Il s'agit notamment d'un moniteur de pression de chambre E, d'un scanner de modèle dynamique et d'un contrôleur automatisé d'orientation des plaquettes. Ces fonctionnalités permettent aux utilisateurs de surveiller et d'ajuster avec précision leur processus de gravure, en ajustant des variables telles que la température, le temps, la chimie de gravure et la puissance pour s'assurer que les meilleurs résultats possibles sont atteints. En outre, l'équipement s'intègre aux contrôleurs et logiciels LAM RESEARCH ETCHVISION™. Cela offre aux utilisateurs un suivi en temps réel de leur processus de gravure et offre de puissantes capacités d'analyse de données et de reporting. Dans l'ensemble, STRIP45 est un système de gravure avancé capable d'obtenir d'excellents résultats avec un minimum d'effort et d'investissement. En tirant parti de son haut niveau de puissance et de contrôle RF, cette unité offre aux utilisateurs l'assurance que leurs résultats seront fiables et reproductibles. En utilisant des techniques de contrôle avancées et des capacités de rapport, les opérateurs seront en mesure d'optimiser leur processus de gravure afin de maximiser le rendement et de réduire le cycle