Occasion LAM RESEARCH STRIP45 #9284283 à vendre en France
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ID: 9284283
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2010
Systems, 12"
2010 vintage.
LAM RESEARCH STRIP45 est un graveur/asher rapide et fiable conçu pour être utilisé dans divers procédés semi-conducteurs. C'est un système de plate-forme unique avec une technologie modulaire avancée qui permet un traitement extrêmement précis des structures d'appareils délicats. STRIP45 a une variété de caractéristiques qui permettent une large gamme d'applications telles que la gravure de matériaux, le nettoyage de surface, la gravure de flanc SiO2, et par des procédés de gravure métallique. LAM RESEARCH STRIP45 est équipé de matériel de pointe pour une productivité et une flexibilité élevées. Il dispose d'une i-line/DUV de 4 pouces, d'une plaque chauffante DUV, d'une ligne/DUV de 200mm et d'une chambre programmable Uni 50. Chaque chambre peut être personnalisée avec différents flux de gaz, pression, température et configurations de débit. De plus, une capacité de gravure à basse température, à basse dépression et à l'état solide est disponible. STRIP45 est également livré avec un logiciel qui fournit des recettes de processus personnalisables, l'enregistrement de données, et des composants de surveillance d'alarme. Cela permet aux utilisateurs de développer des séquences étape par étape pour des processus de gravure ou d'ashing spécifiques. Chaque étape peut inclure des spécifications de débit de gaz, de pression, de température et de débit pour un traitement précis. Le développement de processus basé sur la recette facilite également l'essai, l'optimisation et la production. LAM RESEARCH STRIP45 offre des performances de nettoyage exceptionnelles avec sa puissance sonique de 8500 watts et une source de plasma puissante, basse température, basse dépression. Il peut éliminer les composés organiques légers, tout en maintenant une pression stable de 0,39 Torr et une température de 10 à 140 ° C dans la chambre. STRIP45 a également d'excellentes caractéristiques de sécurité pour protéger le personnel et les matériaux contre toute exposition accidentelle à des gaz nocifs, et il est conçu pour fonctionner avec un minimum de bruit dans les environnements de salle blanche. Ce graveur/asher simple à utiliser et à faible entretien est idéal pour de nombreuses applications de semi-conducteurs et offre des économies de coûts avec un temps de cycle rapide et une meilleure efficacité de l'outil.
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