Occasion LAM RESEARCH TCP 9400 DSIE #293618056 à vendre en France

Le LAM LAM RESEARCH TCP 9400 DSIE est un équipement de graveur/asher spécialement conçu pour la production de substrats de précision à haut volume. Le système comprend une unité de dépôt à trois niveaux (TC3) en cascade double, qui permet une préparation rapide et précise du substrat. La machine TC3 assure un dépôt uniforme de divers matériaux tels que le nitrure, le dioxyde de silicium, le nitrure de titane et le nitrure d'aluminium. L'outil est équipé d'une chambre principale profonde de 19 « de large sur 27 », où toutes les opérations de dépôt sont effectuées à l'intérieur. L'armoire de refroidissement, qui contrôle la vitesse de gravure et l'uniformité de la couche, est incluse dans l'actif et peut contenir jusqu'à 12 positions de cassettes. Les positions des cassettes peuvent être choisies par l'intermédiaire d'un sélecteur de tambour, qui peut être réglé pour fournir une vitesse de gravure spécifique, en contrôlant le débit et le volume des gaz utilisés dans le procédé, ainsi que la durée du procédé. Les positions sont disposées selon un motif octogonal pour maximiser l'uniformité du revêtement. Le modèle est également équipé d'un équipement de nettoyage intégré et contrôlé par ordinateur, utilisant de l'acide fluorhydrique et de l'ozone, qui assure que les substrats sortent propres et non contaminés. Le système est très polyvalent et peut être utilisé pour déposer une variété de matériaux dont l'oxyde de silicium, le nitrure de silicium, le nitrure d'aluminium et de titane, l'oxynitrure de silicium, le tungstène et le nitrure de tantale et d'autres matériaux réfractaires. Le LAM TCP 9400 DSIE peut être configuré avec des alimentateurs automatiques qui permettent un contrôle précis de l'épaisseur, de la vitesse de gravure et de l'uniformité. L'unité comprend également un moniteur de particules, qui surveille la vitesse de dépôt du matériau, et un ensemble de déflexion, qui aide à maintenir la précision mécanique du substrat. Le logiciel de menu convivial est également inclus et offre une configuration, un fonctionnement et une maintenance faciles de la machine. L'outil est extrêmement efficace et économique dans la fabrication de masse, et est capable de produire des substrats qui peuvent être utilisés dans de nombreuses technologies différentes, telles que l'optoélectronique, la microélectronique, la biomédicale et l'automobile. Avec sa gamme de caractéristiques, le LAM LAM RESEARCH TCP 9400 DSIE est une solution idéale pour ceux qui ont besoin de gravures et de cendres de haute qualité dans une production à haut volume.