Occasion LAM RESEARCH TCP 9400 SE II #9212901 à vendre en France
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ID: 9212901
Taille de la plaquette: 8"
Etcher, 8"
Temperature: 22 +/ -2°C
Humidity: <50 %
Vibration sensitivity: Slight
Carrier by water: 9400
Carrier by exhaust: 8400
RF Generator: 5000
Dispersed to environment: 20.000
RF Generator: 3000
Total output: 38.000
RF Generator: 8000
(5) Conditions
Type: Wye
Receptacle required: Hardwired
Power supply: 208 VAC, 50/60 Hz, 3 Phase, 80/63 A.
LAM RESEARCH TCP 9400 SE II est un graveur à plasma de référence spécialement conçu pour une large gamme d'applications de silicium et de semi-conducteurs composés. Cet équipement fournit une solution de gravure polyvalente et performante pour la fabrication de dispositifs microélectroniques tels que les microsenseurs, les MEMS et les composants optoélectroniques. Il dispose d'une grande interface écran tactile LCD couleur 17 pouces, permettant à l'utilisateur de contrôler facilement toutes les fonctions avec quelques balayages et robinets. Le système dispose également d'une fenêtre de gravure très large (jusqu'à 12x12 pouces) et permet de traiter plusieurs niveaux de plaquettes et de matrices en une seule fois. TCP 9400 SE II est livré avec une alimentation intégrée et une plaque chauffante, permettant une excellente uniformité de gravure tout en réduisant la génération de particules. Il dispose également d'un logiciel embarqué de grappes inertes qui est en mesure de contrôler précisément le temps de gravure et le rapport de température pour une large gamme de chimie des gravures, y compris CF4, SF6, HCl, Cl2 et HBr. De plus, l'unité dispose de deux serrures de charge indépendantes, permettant la mise en oeuvre de systèmes à haut débit. En outre, la machine supporte des processus de gravure en une seule étape ou en plusieurs étapes, permettant un processus de fabrication de dispositifs plus précis. Les caractéristiques de sécurité de LAM RESEARCH TCP 9400 SE II ont été conçues pour assurer un environnement de fonctionnement sécuritaire, y compris les protecteurs d'exposition, les soupapes de sécurité des gaz inertes et les épurateurs d'échappement. L'outil dispose également d'arrêts d'urgence et d'interrupteurs activés/éteints pour aider à maintenir la sécurité. En termes de maintenance, le TCP 9400 SE II demande très peu, car l'actif est équipé d'un modèle d'autodiagnostic intégré qui vérifie régulièrement la sécurité et la performance de l'équipement. Toutes ces caractéristiques contribuent à la réputation de LAM RESEARCH TCP 9400 SE II en tant que système de gravure de haute précision fiable et rentable. La combinaison de la conception robuste de l'unité et des fonctionnalités logicielles et matérielles intégrées fait de TCP 9400 SE II une plate-forme idéale pour graver une variété de matériaux de manière sûre et précise.
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