Occasion LAM RESEARCH TCP 9400 SE II #9364646 à vendre en France

LAM RESEARCH TCP 9400 SE II etcher/asher est un outil de traitement humide polyvalent conçu pour la gravure rapide et précise à base de plasma, le cendrage et les procédés connexes dans la fabrication de semi-conducteurs. Il utilise un système de mouvement automatisé linéaire avancé pour un débit et une précision maximum. Le 9400 SE II offre une solution performante et peu coûteuse à la gravure et à la cendre à base de plasma. Le 9400 SE II est adapté à la fabrication avant et arrière des dispositifs semi-conducteurs. Il comprend un étage de support de substrat multi-zones de 8 pouces, un mandrin électrostatique de 4 positions et une tête de dépôt de film pulvérisateur pour assurer une réponse plasma cohérente et une gravure uniforme sur toute la surface du procédé. Le 9400 SE II est capable de graver jusqu'à 50 um de métal avec une précision de sous-micron dans une taille de plaquette de 200 mm. L'étape est préconfigurée pour une variété de recettes de processus, y compris le contrôle du gaz/débit, le contrôle de la température des substrats multi-zones, l'algorithme de reconnaissance des motifs et la cartographie virtuelle des plaquettes. De plus, le 9400 SE II dispose d'un logiciel de contrôle automatique numérique avancé pour des processus de gravure plus efficaces et plus précis. Le 9400 SE II utilise un système de distribution de gaz très efficace qui distribue du gaz frais et sec sur la surface du procédé afin de maximiser la précision de gravure, l'uniformité des plaques et la durée de vie des appareils. Il offre un processus de gravure précis et rapide avec un minimum de perte de pulvérisation. Il est également capable de délivrer du plasma à faible émission (LE) pour garantir des performances de gravure optimales et minimiser la contamination des matières résiduelles. LAM RESEARCH 9400 SE II est un graveur/asher fiable et robuste, offrant un environnement sûr et fiable pour les applications de gravure et ashing. Sa conception modulaire et ses capacités de surveillance à distance en font une solution idéale pour toute application. Avec un débit de traitement élevé, des opérations peu coûteuses et des performances de gravure/cueillette supérieures, le 9400 SE II est la gravure/cendrier de choix pour de nombreux fabricants de semi-conducteurs de pointe.