Occasion LAM RESEARCH TCP 9400 SE II #9402509 à vendre en France
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L'équipement de gravure LAM RESEARCH TCP 9400 SE II (également appelé asher) est un système de gravure haute performance et haute précision utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Doté de technologies brevetées, le TCP 9400 SE II utilise des matériaux et des procédés avancés pour produire des produits d'une uniformité, d'un rendement, d'une rapidité et d'une fiabilité supérieures. L'unité dispose d'une conception d'outil de cluster pour maximiser le débit, réduire le coût de propriété, et permettre l'intégration de plusieurs modules de processus dans une plate-forme unique. Ces modules sont constitués d'une unité de décapage avant gravure, d'une chambre de traitement thermique pour l'oxydation thermique, d'une chambre de dépôt en phase vapeur organique photo (POVD) pour le dépôt de film organique de haute qualité, d'une station de gravure plasma avec dépôt de catalyseur et d'une machine robocamera haut de gamme pour inspecter les substrats avant gravure. L'architecture intégrée de l'outil et son fonctionnement convivial permettent aux utilisateurs d'accéder rapidement à la production. L'outil est spécialement conçu pour produire des résultats de gravure de haute qualité avec un minimum de défauts et une uniformité optimale. Ses solutions logicielles brevetées SmartEtchMC permettent une gravure précise de tous les types de matériaux, y compris les matériaux à couches épaisses et minces, avec un rendement et une reproductibilité maximaux. La chambre de traitement thermique de LAM RESEARCH TCP 9400 SE II est particulièrement adaptée à la gravure de petites puces, aux revêtements optiques délicats et aux métaux ou diélectriques transparents. En utilisant la chambre de dépôt en phase vapeur organique (POVD), on obtient un dépôt de film organique de haute qualité, ce qui permet une uniformité maximale même sur de grandes surfaces. La station de gravure plasma innovante de l'outil permet une gravure et un dépôt de catalyseur optimisés tant pour les plaquettes entièrement traitées que pour les expériences de flux de processus. De plus, des chambres personnalisées peuvent être intégrées. Le TCP 9400 SE II dispose également d'un atout robocamera haut de gamme qui offre une inspectabilité supérieure pour identifier et corriger les défauts du substrat avant la gravure. Dans l'ensemble, le modèle de gravure LAM RESEARCH TCP 9400 SE II est idéal pour les utilisateurs à la recherche d'un équipement de gravure avancé offrant un rendement, une uniformité et une vitesse maximales. Avec ses matériaux de pointe, sa technologie de processus et son architecture intégrée, cet outil est en mesure d'obtenir des résultats supérieurs tout en minimisant les temps d'arrêt et en augmentant la rentabilité.
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