Occasion LAM RESEARCH TCP 9400 SE #293764327 à vendre en France
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LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE est un graveur/asher spécialement conçu pour effectuer des gravures sèches ou humides dans l'industrie de l'électronique et de la fabrication de semi-conducteurs. Il est conçu pour fournir une excellente géométrie et un contrôle précis de la profondeur, permettant un contrôle précis du motif de gravure. ONTRAK TCP 9400 SE est un équipement de gravure à quatre chambres/cendres qui utilise un procédé de gravure à sec en deux étapes pour graver des motifs avec une précision accrue et des coûts moindres. Le premier étage est une gravure de réservoir basse pression tandis que le second étage utilise du gaz plasma et des micro-ondes pour graver dans le substrat et créer une gravure fine de rapport d'aspect élevé. Ce système de gravure est capable de graver dans différents matériaux de substrat tels que les diélectriques et les métaux, ce qui en fait un outil de gravure polyvalent. LAM RESEARCH TCP 9400 SE est équipé d'une métrologie fine avancée, d'une capacité de multizonage et de multiples recettes de processus en chambre. L'unité de métrologie fournit une méthode très précise et fiable pour mesurer les profondeurs de gravure et la précision de recouvrement. La capacité multi-zones permet d'augmenter le débit pour les applications à haut volume, et la capacité de programmer des recettes en chambre permet des recettes de gravure personnalisées. La machine de gravure est gérée et contrôlée par une armoire de processus de base intégrée, qui permet aux utilisateurs de facilement configurer, surveiller et ajuster leurs recettes de processus. Il est également compatible avec des logiciels de pointe tels que le logiciel TSCX ONTRAK, qui facilite le traitement des données, surveille les performances des outils en temps réel et les résultats d'exportation. En outre, il peut être facilement interfacé avec un certain nombre de systèmes de métrologie tiers. Le TCP 9400 SE est la solution de gravure idéale pour les petites à grandes séries de production et a été conçu pour une maintenance minimale - ses composants remplaçables, ses temps de rampe rapides et son empreinte relativement faible le rendent idéal pour les environnements de salle blanche. C'est complètement compatible avec l'OPC-200 cleanroom du gaz et des systèmes de manipulation de gaufrette, en garantissant la consistance en ce qui concerne l'intégrité de processus et les conditions environnementales. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE est un actif avancé de gravure/cendres idéal pour une gamme d'applications électroniques et de fabrication de semi-conducteurs. Utilisant son procédé de gravure sèche en deux étapes et sa métrologie fine intégrée, ce modèle est capable d'obtenir des gravures précises avec un minimum de temps d'arrêt, ce qui en fait une solution optimale pour les opérations de production de moyen à grand volume.
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