Occasion LAM RESEARCH TCP 9400 SE #293767403 à vendre en France

ID: 293767403
Etcher Process: Silicon etch Chuck type: E-Chuck type1.
LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE est un équipement avancé de gravure/ashing conçu pour être utilisé dans l'environnement de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il dispose d'une plate-forme entièrement automatisée et autonome capable de traiter un large éventail de matériaux de substrat tels que le silicium, le nitrure et divers métaux. Le système peut être personnalisé pour traiter d'autres matériaux au besoin. L'unité graveur/asher est conçue avec un support de substrat rotatif qui offre la possibilité de traiter des substrats jusqu'à 6,5 pouces de taille. Cela permet la manipulation et la gravure efficaces des substrats, tout en maintenant des résultats précis et reproductibles. De plus, le porte-substrat rotatif offre la flexibilité nécessaire pour s'adapter à différentes formes et tailles de gravure, ainsi qu'à des paramètres de gravure avancés. Afin de garantir des résultats de gravure optimaux, ONTRAK TCP 9400 SE intègre des technologies avancées de contrôle des processus. Cela inclut la surveillance des paramètres du processus et l'optimisation automatique des processus, garantissant que les gravures de la plus haute qualité sont produites. Il dispose également d'une machine de détection d'étincelles pour prévenir les dommages à l'équipement, ainsi que l'affichage et le contrôle vidéo à bord. Ce graveur/asher offre également une flexibilité de processus maximale, offrant des taux de gravure manuels et automatiques, ainsi que des séquences de gravure programmables. En outre, le débit et la température des gaz de procédé peuvent être ajustés pour répondre aux exigences des travaux de gravure individuels. Le gaz de procédé est contrôlé à l'aide d'un outil de livraison de gaz multi-têtes qui comprend plusieurs sous-banques. Ceci permet de contrôler avec précision la vitesse, la composition et la distribution de tous les gaz de procédé. LAM RESEARCH TCP 9400 SE etcher/asher comprend également une table de levage intégrée. Cela facilite le chargement/déchargement des substrats et des déchets contaminés. De plus, une plate-forme de sécurité intégrée intègre une variété de caractéristiques de sécurité pour assurer la sécurité pendant l'exploitation. Cela comprend un actif d'arrêt automatique qui fermera l'graveur/asher en cas de dysfonctionnement du modèle ou de panne de courant. Dans l'ensemble, TCP 9400 SE est un graveur/asher avancé conçu pour fournir des substrats de la plus haute qualité avec des résultats reproductibles et rentables. Ses technologies avancées de contrôle des procédés, ses paramètres flexibles et ses caractéristiques de sécurité complètes en font une solution idéale pour l'industrie de la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.
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