Occasion LAM RESEARCH TCP 9400 #293752333 à vendre en France

LAM RESEARCH TCP 9400 est un équipement entièrement automatisé, très précis, graveur et asher conçu pour le nettoyage des substrats et les processus de pré-métalisation. Ce système automatisé offre des procédés de haute qualité pour une variété de substrats, y compris le silicium, le verre et le quartz. Il est idéal pour le traitement de fond de gravure et fournit une plate-forme idéale pour le dépôt de métal. TCP 9400 offre un certain nombre de fonctionnalités qui le rendent très efficace pour la gravure de substrat. Il dispose d'un porte-plaquettes entièrement automatisé qui déplace les substrats dans et hors du module de processus alcalin-propre utilisant un bras robot, tandis qu'un contrôleur intégré surveille et contrôle le processus entireetcher. Le contrôle de pression programmable de l'unité règle automatiquement la pression dans la chambre de réaction pour un polissage uniforme et régulier du substrat. De plus, LAM RESEARCH TCP 9400 fonctionne en cycle complètement fermé, tous les composants inertes étant récupérés et recirculés dans le processus de gravure pour prévenir les déchets. TCP 9400 utilise deux solutions de gravure pour assurer des vitesses de gravure uniformes sur toute la surface de la plaquette. Chaque solution contient des régents distincts pour des procédés spécifiques de gravure chimique humide et de polissage chimique-mécanique. Ceci assure un mouillage optimal de la surface du substrat et une gravure uniforme du matériau de départ, assurant une finition de surface cohérente. En outre, il dispose d'une machine de contrôle de température de précision avec une précision de niveau micron pour un contrôle précis du processus. Cet outil dispose également d'un atout intégré en métrologie optique pour surveiller le processus de gravure. Il permet à l'opérateur d'observer et de suivre en temps réel le déroulement du processus de gravure et le profil de surface du substrat. Le processus de gravure est également surveillé et enregistré via une base de données de processus en ligne afin que l'utilisateur puisse voir les tendances du processus et être alerté de tout changement. LAM RESEARCH TCP 9400 est un modèle de gravure et d'asher fiable et automatisé qui offre un contrôle détaillé des procédés, des vitesses de gravure précises et un nettoyage des substrats et des dépôts métalliques à haute performance. Sa combinaison de caractéristiques et de performances en fait un choix idéal pour une variété d'applications de gravure de substrat.