Occasion LAM RESEARCH TCP 9400 #293758208 à vendre en France

LAM RESEARCH TCP 9400 est un graveur/asher conçu pour offrir des performances de gravure et d'ashing avancées. Cet équipement innovant est idéal pour les applications de production en volume, à haut débit de fabrication telles que les étapes de processus d'affichage à écran plat (FPD), le dépôt 3D/gravure, la photolithographie et la fabrication de dispositifs MEMS. Depuis son introduction, le TCP 9400 est devenu un graveur/asher très populaire grâce à sa flexibilité, sa capacité et ses caractéristiques robustes. LAM RESEARCH TCP 9400 est un système intégré à double chambre pour un transfert précis de motifs, une distribution précise de gaz et une large fenêtre de processus. Il utilise la technologie d'entrée brevetée Advanced Recirculating Equalizing Gas (AEG) pour créer des distributions de gaz uniformes à l'intérieur de l'unité. Cette précision crée des performances de gravure optimales dans la production d'applications FPD haute densité avec de petits motifs ligne/espace (L/S). La large fenêtre de processus de la machine permet une gravure basse/haute température et des performances de gravure/profil très précises. Le TCP 9400 offre des performances de débit élevées, avec des options pouvant aller jusqu'à 50 wafers/cycle. Il offre également 99 unités haute capacité de manutention de cassette, ce qui contribue à augmenter encore le débit. Son mécanisme à haute température et à entraînement direct permet un transport plus rapide des plaquettes entre les chambres, ce qui signifie des taux de productivité plus élevés. LAM RESEARCH TCP 9400 est hautement configurable, permettant aux clients d'adapter les systèmes à leurs besoins spécifiques. Il comprend plusieurs options automatisées de gestion des cycles de charge à chaud et à froid, y compris le traitement des plaquettes à chaud, l'optimisation des chambres et la commutation automatique des matériaux de source. Il comprend également une gamme de configurations avant, telles que des chargeurs par lots, des échangeurs de chaleur, des émetteurs de matériaux sources à haute/basse température, un robot de manutention de plaquettes et un logiciel de cartographie de plaquettes. L'outil est également équipé de régulateurs de gaz faciles à sélectionner, ce qui permet aux opérateurs de sélectionner rapidement les gaz de processus désirés sans nécessiter de programmation. Les régulateurs de gaz sont également compatibles avec plusieurs gaz, ce qui signifie que les opérateurs peuvent facilement passer à différents gaz pour différents procédés. Dans l'ensemble, TCP 9400 est un atout intégré etcher/asher avancé conçu pour la précision à des volumes élevés. Sa technologie de débit de gaz supérieure, son temps d'exécution rapide et sa flexibilité offrent aux utilisateurs une solution hautement fiable et efficace.