Occasion LAM RESEARCH TCP 9400 #293809942 à vendre en France
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LAM RESEARCH TCP 9400 est un graveur/asher de pointe conçu pour répondre à la demande de gravure et de cendrage de haute précision dans les industries des semi-conducteurs et des emballages avancés. Cet équipement est capable de fournir des processus rapides, uniformes et fiables avec des performances supérieures. Le TCP 9400 est équipé d'une plate-forme de livraison de gaz entièrement automatisée et intégrée, capable de livrer jusqu'à 11 points de livraison de gaz simultanément. Il dispose également d'une interface robot très efficace avec jusqu'à trois robots chauds qui peuvent manipuler jusqu'à 40 plaquettes pour le chargement manuel et les temps d'exécution rapides. L'équipement comprend un ensemble de pompes à vide avec un entraînement à fréquence variable et une chambre de traitement spéciale conçue pour minimiser les dégazages et le transfert de chaleur entre l'équipement et le substrat. LAM RESEARCH TCP 9400 est capable de fournir des procédés répétables tels que l'oxyde, le nitrure et d'autres gravures pour des ratios d'aspect élevés, avec un degré élevé de précision et d'uniformité sur plusieurs tailles de plaquettes. Les débits élevés et le contrôle fin des procédés du TCP 9400 réduisent les temps de cycle et permettent d'augmenter les rendements de production. LAM RESEARCH TCP 9400 est également équipé d'un puissant système de surveillance des processus, qui surveille l'ensemble du processus de gravure/ashing. Ses paramètres de contrôle du processus opérationnel, y compris le débit de gaz, la pression, la température et la puissance peuvent être programmés dans le logiciel de contrôle du processus. Cela permet une gestion optimale du processus, en veillant à ce que la via, la ligne et les trous de contact soient gravés/cendrés sans faille temps après temps. En conclusion, le TCP 9400 est une solution idéale pour les industries des semi-conducteurs et des emballages avancés, car il offre un processus rapide, fiable et répétable qui offre une uniformité supérieure sur plusieurs tailles de plaquettes. Son puissant système de surveillance des processus et sa plate-forme automatisée de livraison de gaz garantissent que chaque travail est terminé sans faille, offrant aux clients une productivité et une satisfaction accrues.
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