Occasion LAM RESEARCH TCP 9400 #293825709 à vendre en France

LAM RESEARCH TCP 9400 est une unité de graveur/asher conçue pour la production de dispositifs semi-conducteurs. Il s'agit d'un équipement hautement automatisé capable de réaliser des processus d'ablation et/ou de gravure en ligne en une seule opération. Ce système est parfaitement adapté à la production de moyens à grands volumes de dispositifs. Cette unité dispose d'une chambre de gravure ionique réactive profonde (DRIE) avec un mécanisme d'ouverture/fermeture du couvercle actionné pneumatiquement. Cette chambre est conçue pour permettre le traitement de substrats avec une grande précision et précision. La chambre dispose d'un échangeur de chaleur intégré et d'un module de contrôle de pression supplémentaire pour un contrôle précis du processus. La machine dispose également d'un robot de transfert monobloc pour le chargement et le déchargement des substrats de l'outil. Ce robot offre un haut degré de flexibilité de processus et est équipé d'un outil de vision pour une manipulation fiable et efficace du substrat. Le robot est également équipé d'un module de puissance, lui permettant d'assurer une protection supérieure du substrat et des temps de cycle réduits. L'unité de contrôle fournit les capacités de contrôle et d'automatisation nécessaires pour exécuter l'actif. Cela comprend les paramètres d'exploitation, la gestion des recettes, l'enregistrement des données et la connectivité à un ordinateur hôte. L'unité de contrôle comprend la capacité de surveiller et d'analyser les résultats des processus et de stocker les recettes pour la répétabilité future. Enfin, le modèle dispose d'une chambre de serrure conçue pour contenir jusqu'à 8 plaquettes pour les processus pré-gravure et post-gravure. Cette chambre comprend une pompe à vide pour l'évacuation et un orifice d'injection d'oxygène pour l'inertage de l'atmosphère de la chambre. Tous ces composants travaillent ensemble pour produire des résultats de qualité et reproductibles de manière cohérente et fiable. En utilisant l'équipement TCP 9400 etcher/asher, les fabricants de dispositifs peuvent produire des dispositifs semi-conducteurs qui répondent à leurs exigences de spécification en temps opportun et de façon rentable.