Occasion LAM RESEARCH TCP 9400 #9053203 à vendre en France

LAM RESEARCH TCP 9400 est un graveur/asher conçu pour le traitement des demandes de wafer. Il s'agit d'un équipement de gravure et de cendrage haute vitesse et haute résolution capable de traiter des substrats jusqu'à 8 pouces de diamètre. Ce système est conçu pour produire des motifs extrêmement précis avec des résultats cohérents qui peuvent être reproduits de façon cohérente pour des applications à l'échelle de production. Il dispose d'une unité de support robotique de portique double axe de haute qualité pour un contrôle précis du mouvement sur l'ensemble de la chambre de traitement, et comprend également un capteur d'imagerie thermique pour examiner le profil thermique du substrat pendant le traitement. Le portique assure que le substrat peut être amené rapidement et avec précision à la position de traitement souhaitée. Les contrôleurs de débit massique puissants assurent une gestion précise du débit de gaz avec une gamme de composés et nécessitent une intervention minimale de l'utilisateur. Le logiciel avancé de contrôle des processus permet à plusieurs recettes d'exister dans la mémoire avec jusqu'à 10 stations par recette. La machine est construite avec une configuration de chambre de serrure de quatre quarts, permettant jusqu'à quatre plaquettes d'être chargées ou déchargées en même temps. TCP 9400 est conçu pour traiter des motifs complexes et des structures denses avec gravure plasma et chimique. Il peut assurer une commutation instantanée entre les processus chimiques et plasmatiques, ce qui permet une production à faible cycle. Les systèmes à plasma peuvent fournir jusqu'à 200 watts de puissance, ce qui permet une gestion précise des vitesses de gravure et des caractéristiques uniformes. De plus, LAM RESEARCH TCP 9400 dispose d'une machine d'imagerie rapide avancée pour l'inspection automatisée des plaquettes. Cet outil est capable de mesurer les plus petites caractéristiques avec une résolution sous-micron et est capable d'imiter la plaquette entière en quelques minutes. La machine est équipée de dispositifs de sécurité embarqués et est capable de surveiller la gestion du gaz et de la pression pour fournir un niveau de sécurité supplémentaire. TCP 9400 est un graveur/asher haute performance offrant des avantages importants pour les applications de traitement de wafer à haut volume. Son atout de contrôle avancé, son modèle de support robotique à deux axes et ses capacités de processus polyvalentes en font un choix idéal pour produire des résultats précis et cohérents.