Occasion LAM RESEARCH TCP 9400 #9131590 à vendre en France

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ID: 9131590
Taille de la plaquette: 4"-8"
Poly/Nitride etcher, 8" System configuration Wafer transfer Cassette to cassette Chamber 1 Process Ch, 2 loadlock ch Fixed gap electrode( 11.6cm) 1.25KW and 13.56㎒ RF power supply (Process Chamber Upper/Lower) (RF generator Model : RFG 1250) Automatic match system 3-Turn TCP coil Electrode temperature unit interface Photodiode optical endpoint detector Electrostatic chuck (Process Chamber) Bottom redial gas injection Back HE cooling 1 Turbo pump(Seiko Seiki 2203) Viton /Fsilicon O-Ring Orbitally welded gas box (3) Color Tower Lamps System controller Envision –E1.5.1 / LCD moniter Pressure control Automatic pressure control(VAT65) Temperature control system Single chiller(M&W) temp control range:-20℃~+80℃).
LAM RESEARCH TCP 9400 est un équipement de graveur et d'asher conçu pour le contrôle de processus à haut débit et la gravure avec une flexibilité maximale du processus. Il est équipé d'une alimentation variable, d'un contrôle de mouvement numérique x-y-z et du module Chambre de processus universelle (UPC). Ce système utilise une technologie SmartScan qui permet une gravure précise sans dérive, permettant des profondeurs et des finitions de gravure rapides et précises. TCP 9400 convient à la gravure de l'aluminium, des alliages d'aluminium, du câblage électrique et de l'acier inoxydable, ainsi que d'autres matériaux conducteurs. Il dispose également d'une technique de balayage constant (CST) pour améliorer la répétabilité et la précision des processus. Ce dispositif a la capacité de graver avec précision une variété de matériaux avec un contrôle de processus supérieur. LAM RESEARCH TCP 9400 dispose d'une gamme complète de réglages pour contrôler les paramètres de gravure. Ces réglages permettent d'affiner le processus de gravure pour un rendement maximal. En outre, les paramètres peuvent être facilement modifiés au besoin pour correspondre aux exigences du travail de gravure. L'unité est également équipée d'une puissante machine de chauffage, qui permet à la fois la commande manuelle et automatique. Ceci permet à l'utilisateur de chauffer avec précision la chambre de procédé et le substrat afin d'obtenir des résultats de gravure optimaux. En outre, l'outil de gravure utilise la technologie de refroidissement des ventilateurs pour améliorer les performances de gravure. Cet actif de gravure a une chambre de processus fermée pour améliorer les résultats de gravure et la sécurité. Le 9400c est également équipé de capacités améliorées de contrôle des processus ainsi que d'un logiciel qui permet un meilleur contrôle du processus de gravure. Le logiciel permet également d'entrer facilement les données de l'interface utilisateur graphique et de contrôler le processus. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH TCP 9400c est un modèle de graveur et asher très polyvalent et flexible. Il offre une gamme complète de paramètres pour le contrôle des processus, l'entrée facile des données de l'interface graphique utilisateur, et la technique de balayage constant (CST) pour une répétabilité et une précision maximales. Cet équipement est idéal pour diverses applications de gravure et convient à la gravure de l'aluminium, des alliages d'aluminium, du câblage électrique et de l'acier inoxydable.
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