Occasion LAM RESEARCH TCP 9400 #9180765 à vendre en France

LAM RESEARCH TCP 9400 est un outil de graveur et asher haute performance conçu pour les procédés FEOL (Front End Of Line) dans la fabrication de semi-conducteurs. Sa technologie de résonance multifréquence avancée est capable d'effectuer simultanément une gravure d'ions réactifs et une oxydation pour atteindre une productivité à haut volume. TCP 9400 possède une grande chambre de procédé avec une grande surface de substrat. Ceci assure un chargement uniforme du substrat, assurant une productivité et un débit élevés. La chambre utilise également la technologie de tension de pincement électrostatique pour fournir un processus de gravure uniforme et cohérent. La pincée aide également à minimiser la variabilité conduisant à un profilage amélioré. L'outil dispose également d'une fonction de conversion de fréquence basse fréquence qui aide à réduire le risque de surgravure aux bords et aux coins. Cela augmente la précision du processus et les rendements. LAM RESEARCH TCP 9400 offre une distribution uniforme des sources qui assure une gravure et une oxydation uniformes. Il utilise également la polarisation pour améliorer la sélectivité de gravure, et pour éliminer rapidement les caractéristiques structurées du substrat. La technologie de contrôle avancée de l'outil permet à l'utilisateur de surveiller et de régler avec précision des conditions comme la puissance RF et le timing. Cela aide l'utilisateur à optimiser les conditions de gravure pour adapter le processus aux matériaux ou caractéristiques du substrat. Le TCP 9400 comprend également un temps de cycle rapide. Cela permet une production à haut débit. En outre, l'outil dispose de capacités de diagnostic intégrées qui permettent la détection et la récupération rapides des pannes. Cela le rend adapté aux environnements de production. Ses fonctionnalités logicielles avancées permettent également une optimisation simplifiée des processus, l'enregistrement des données et l'édition des recettes. LAM RESEARCH TCP 9400 est un outil puissant, polyvalent et asher conçu pour répondre aux besoins du marché FEOL. Ses fonctionnalités avancées fournissent d'excellentes capacités de traitement et de débit, tout en permettant un meilleur contrôle et optimisation des processus.