Occasion LAM RESEARCH TCP 9400 #9226361 à vendre en France

LAM RESEARCH TCP 9400 est un appareil électromécanique et asher multifonctions de pointe. Cette technologie est spécialement conçue pour fournir une gravure précise des caractéristiques sur les substrats tels que les semi-conducteurs, les circuits intégrés et les composants microélectroniques. TCP 9400 est capable de soutirer, nettoyer et graver des couches de matériau à des vitesses et des niveaux de précision extraordinaires. LAM RESEARCH a conçu ce système et la technologie de commande intelligente qui lui permet d'atteindre une précision de contrôle jusqu'à 5 nm d'épaisseur avec une température basse (< 430C). Cet etcher/asher utilise une chambre compacte de traitement de plaquettes ablatives avec une matrice de gaz configurable spatialement pour permettre la réalisation d'un large éventail de recettes de processus et de nœuds technologiques. Il dispose également d'un contrôleur de modulation de largeur d'impulsion accordable avancé utilisé pour contrôler avec précision l'entrée d'énergie dans le processus de la plaquette. Cela lui permet d'obtenir des résultats stables pendant le fonctionnement et d'effectuer rapidement la gravure ionique réactive, le dépôt chimique en phase vapeur, la polarisation et d'autres procédés. LAM RESEARCH TCP 9400 est équipé d'une plaque chaude en graphite qui est à la fois la température et l'autorégulation afin d'assurer un chauffage uniforme du substrat. Cette température est ensuite surveillée périodiquement et possède des plages de température personnalisables selon les recettes et le type de procédé. Pour plus de précision et de sécurité, cet outil de gravure dispose d'un détecteur d'arrêt qui vérifie en permanence la bonne distance entre la cible et le mandrin de plaquette. Il dispose également d'une unité de sécurité avancée qui comprend des emboîtements capables de détecter les défauts de processus ; des composants tels que la plaque chaude, les pompes à vide et les conduites d'alimentation en gaz ; et détecteur d'ions flammes qui surveille les gaz Radwaste émis lors de la gravure. En termes de performances, TCP 9400 est capable de manipuler de grands substrats jusqu'à 6 pouces de diamètre et dispose d'une machine à débit élevé qui permet le chargement et le déchargement synchrone des plaquettes. Il suit automatiquement les mesures de chambre telles que la température, la pression et le débit de gaz pour assurer un processus stable tout au long de la course. LAM RESEARCH TCP 9400 est un outil de graveur et d'asher efficace pour des procédés tels que la gravure de circuits intégrés, la métallisation en couches minces, les matériaux semi-conducteurs composés, le verre Pyrex et les couches diélectriques basses. Sa capacité à obtenir une précision de contrôle d'épaisseur précise et un contrôle de température précis le rendent particulièrement bien adapté à la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.