Occasion LAM RESEARCH TCP 9400 #9226362 à vendre en France

LAM RESEARCH TCP 9400 est un graveur/asher utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs pour appliquer des couches de matériaux spécifiques pendant le processus de formation du dispositif. TCP 9400 utilise une interface de protocole de communication technologique (TCP) pour la mise en réseau d'outils de processus, leur offrant la possibilité d'interagir entre eux et de coordonner des paramètres tels que le débit de gaz, la température, le temps et la pression pour obtenir une performance maximale du processus. LAM RESEARCH TCP 9400 peut graver ou asher des substrats jusqu'à 500 mm de taille, et dispose d'une plate-forme brevetée ZRide™ qui assure un mouvement stable et à faible frottement et maintient des motifs de plaquettes serrés sur la hauteur de la face du processus, ce qui est important pour la répétabilité de la face de la plaquette et l'uniformité du processus. Le TCP 9400 utilise la technologie LAM Gasflow™, qui utilise des vannes de réaction à action rapide (FAR™) pour activer et désactiver avec précision les gaz de procédé afin d'obtenir rapidement des résultats de processus reproductibles avec un réglage fin pour des exigences de travail spécifiques. L'équipement dispose également de Dynamic Inerting™, qui permet une commutation rapide des gaz inertes et de traitement pour répondre rapidement aux changements dans les exigences du travail et offre un haut niveau de contrôle et d'uniformité pour les processus sous vide. Le système est également équipé d'une unité de manutention automatisée de la plaquette qui permet le traitement d'une seule plaquette et d'un lot de plaquettes, ainsi que d'une chambre de serrage à basse pression (LPL) qui permet un pré-nettoyage et un chargement rapides du substrat. LAM RESEARCH TCP 9400 est capable de contrôler plusieurs ports à l'intérieur d'une même chambre, assurant une commutation contrôlée des gaz entre les ports. Pour assurer la sécurité, le TCP 9400 est équipé d'une série de dispositifs de sécurité matériels et logiciels qui empêchent l'accès non autorisé à la chambre de procédé ainsi que le contrôle de la température, de la pression et des niveaux d'humidité. LAM RESEARCH TCP 9400 dispose également d'une machine de détection de déversement qui déclenche l'arrêt automatique et le nettoyage si des matériaux exotiques sont détectés par l'outil. TCP 9400 est un atout tout-en-un pour les procédés de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Avec son interface TCP, sa technologie de débit de gaz, ses capacités d'inertage dynamique, son modèle de manutention automatisé des plaquettes et ses diverses caractéristiques de sécurité, LAM RESEARCH TCP 9400 offre des niveaux sophistiqués de contrôle et de précision pour des résultats reproductibles.