Occasion LAM RESEARCH TCP 9400 #9233832 à vendre en France

LAM RESEARCH TCP 9400 est un graveur/asher avancé conçu pour fournir des processus de gravure de plaquettes robustes, rapides et de haute précision. La machine est capable d'effectuer des étapes de gravure humide et sèche, et offre un excellent contrôle sur tous les paramètres de gravure. La chambre de gravure contient plusieurs chambres de réactifs ou de supports, ainsi qu'un module de chauffage capable de maintenir des températures allant jusqu'à 650 ° C pour la gravure sèche et jusqu'à 600 ° C pour la gravure humide. En outre, il dispose également d'un générateur RF pour contrôler la puissance RF dans les applications de gravure humide et sèche. La machine dispose également d'un robot de traitement semi-conducteur avancé capable de manipuler avec précision et rapidité les plaquettes dans un processus de gravure ou de cendres de haute précision. Le robot est capable de manipuler des plaquettes de 4 « à 8 ». La machine contient également un ensemble d'instrumentation qui comprend une chambre de capteur multi-prop qui fournit un contrôle supplémentaire sur plusieurs paramètres de gravure tels que le débit, la pression, la température, et RF. Le TCP 9400 dispose également d'un système de distribution de gaz à haute vitesse basé sur la pression. Ce système utilise une combinaison de gaz haute pression et basse pression pour délivrer une gravure uniforme ou des cendres sur l'ensemble de la plaquette. Il existe également un système de distribution de gaz à base d'hélium qui permet un contrôle supplémentaire des rapports d'aspect des gravures et de la sélectivité des gravures. La machine contient également un ensemble électronique de contrôle avancé qui est capable de supporter à la fois manuelle et l'automatisation des processus de gravure/cendres. La vaste bibliothèque d'applications offre aux utilisateurs une grande variété d'options pour contrôler manuellement et automatiquement le processus. L'écran tactile d'affichage fournit également une interface utilisateur intuitive qui rend la programmation et la surveillance du processus facile et simple. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH TCP 9400 est un graveur/asher avancé, flexible et de haute précision capable de répondre aux exigences exigeantes du traitement moderne des semi-conducteurs. Sa conception robuste et ses caractéristiques hautes performances en font un atout précieux pour toute installation de fabrication de semi-conducteurs.