Occasion LAM RESEARCH TCP 9400 #9313523 à vendre en France

LAM RESEARCH TCP 9400 est un graveur et asher de haute précision et à haut débit pour la production de photomasques et d'autres applications de lithographie. Ce benchtop etcher/asher offre une uniformité de processus et une répétabilité supérieures, et peut fournir des performances de gravure supérieures grâce à sa conception précise. TCP 9400 est conçu avec gravure humide et sèche, ainsi que des options de gravure ionique réactive (RIE) chambre pour répondre aux besoins de gravure de différents processus de lithographie. Par exemple, la chambre de gravure humide peut être utilisée pour la gravure profonde de plaquettes de silicium, tandis que la chambre sèche est utilisée pour la gravure de tranchées minces avec des rapports d'aspect élevés. En outre, l'option RIE peut être utilisée pour la gravure de caractéristiques plus précises, telles que les lignes de circuit et les contacts. LAM RESEARCH TCP 9400 dispose également d'un détecteur de point d'extrémité, qui surveille le processus de gravure et peut être ajusté pour différents taux de gravure. Cela permet un meilleur contrôle du processus et l'optimisation des résultats de gravure. La vitesse de gravure maximale de ce graveur/asher est également réglable, selon le processus de gravure et les matériaux. Le TCP 9400 dispose également d'un équipement avancé de régulation de la température du substrat en temps réel. Par exemple, il peut maintenir une plage de température comprise entre 4 et 400 degrés Celsius. Le contrôle de la température réduit les erreurs dues à la dilatation thermique et à la contraction, ce qui augmente la précision des opérations de gravure. Il dispose également d'un système d'auto-calibrage pour assurer des profondeurs de gravure cohérentes entre les différents substrats. LAM RESEARCH TCP 9400 dispose également d'une console de commande équipée d'un écran et de paramètres réglables, pour des réglages tels que le temps d'exposition, la température du substrat et la vitesse de gravure. Cela permet aux utilisateurs de personnaliser facilement leurs opérations de gravure. Il dispose également d'un créateur de recettes à l'écran, qui permet à l'utilisateur de sélectionner des recettes de gravure appropriées pour des applications spécifiques de production de photomasques. TCP 9400 est un choix sûr et fiable pour la gravure et l'ashing des processus connexes. Le graveur/asher est conçu avec des dispositifs de sécurité, tels qu'un arrêt d'urgence et un dispositif d'interception à commande électronique, pour éviter des conditions dangereuses. Il est également équipé d'une machine de filtration d'air pour assurer la propreté dans l'environnement de gravure. En outre, il est conçu avec une serrure de chargement et un outil de nettoyage pour assurer des transferts rapides de lot à lot. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH TCP 9400 est un graveur et asher fiable et de haute précision conçu pour optimiser les opérations de gravure et de photomasque. Ses performances de gravure supérieures, son atout de contrôle de température de haute précision et ses caractéristiques de sécurité en font un choix efficace et fiable pour les applications de gravure et d'ashing.