Occasion LAM RESEARCH TCP 9400 #9364645 à vendre en France

LAM RESEARCH TCP 9400 asher/etcher est un équipement de gravure ionique réactive (RIE) conçu pour la gravure à sec de matériaux difficiles utilisant diverses chimies telles que CF4, NF3,SF6 et O2. Ce système a la capacité de graver des caractéristiques sur un substrat de manière très reproductible et répétable. Il peut graver avec la précision et l'uniformité des caractéristiques traçables sous forme plane et tridimensionnelle. Il est équipé de la dernière technologie de deux chambres - LaB6 et de la nouvelle chambre WFMS. Le LaB6, qui signifie « Low Pressure Acoustic Barrier Graching », est exceptionnellement bien adapté à la gravure au fluorure de baryum, au silicium et au silicium dopé. La nouvelle chambre WFMS a récemment été ajoutée, qui représente la « spectrométrie de masse de champ de grande surface » et est idéale pour le traitement de niveau de wafer de périphériques et de motifs. TCP 9400 etcher/asher utilise des systèmes avancés de distribution de médias, permettant la livraison précise de gaz et de produits chimiques. Il dispose également de l'unité de contrôle du débit de gaz (GFCS) avec contrôle « total » et « partiel » de la nébuleuse de gaz. En outre, la capacité de surveillance à distance est fournie dans les deux chambres, permettant le contrôle des processus et la rétroaction des données de processus. LAM RESEARCH TCP 9400 asher/etcher dispose également de capacités de transport de plaquettes très avancées. Les plaquettes peuvent être transportées dans et hors des deux chambres à l'aide de la machine semi-automatique de chargement/déchargement des plaquettes. Cet outil pratique permet une manipulation sûre, automatisée et de métrologie inspectée des plaquettes. TCP 9400 asher/etcher est conçu avec un lecteur d'ordinateur autonome. Cette fonctionnalité garantit un fonctionnement sans problème et élimine le besoin de tout type de programmation. L'actif fournit des temps rapides de récupération et de déchargement des plaquettes et est conçu pour un large éventail de processus de lots et de plaquettes simples. Il utilise également un nouveau générateur de plasma, faible charge thermique, auto-détection de l'orientation des plaquettes, et les capacités de gravure des parois latérales. LAM RESEARCH TCP 9400 etcher/asher est une ressource inestimable pour contrôler et exécuter des processus de gravure rapides. Sa grande variété de fonctionnalités avancées le rend idéal pour produire des pièces et des composants de haute qualité et hautement fiables. Il est idéal pour la gravure rapide et précise d'une large gamme de matériaux, y compris des plaquettes en silicium pur, des plaquettes enduites de résine, des plaquettes en silicium sur isolant (SOI), des plaquettes en oxyde métallique-semiconducteur (MOS) et une variété d'autres matériaux de dépôt.