Occasion LAM RESEARCH TCP 9400B #9402507 à vendre en France

ID: 9402507
ICP Etcher Platform: Alliance 4.1 (2) DFM Chambers.
LAM RESEARCH TCP 9400B est un graveur et asher de haute précision spécialement conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avec des exigences strictes de contrôle des processus. Avec son armoire à gaz brevetée, TCP 9400B est capable de produire des résultats plus rapides et plus uniformes avec des débits plus élevés que les autres modèles. Il offre des performances et une fiabilité de pointe dans l'industrie, ce qui le rend idéal pour les applications critiques comme MEMS, RF, Advanced FTIQ et le traitement des plaquettes ultra-minces. La technologie d'armoire à gaz de LAM RESEARCH TCP 9400B élimine les molécules de gaz qui sont aspirées à travers la paroi de la chambre, ce qui améliore l'uniformité et la vitesse de gravure. Cette amélioration du contrôle du procédé signifie des contre-dépouilles plus petites, de meilleures conformités de profil et moins de vides. Une source de magnétron à déphasage triangulaire brevetée fournit une meilleure uniformité que 95 % pour la gravure de films épais. Le système de contrôle PID avancé dispose d'un réglage automatique de la fréquence et d'un modèle « true to life » pour surveiller en permanence les conditions de gravure. La machine dispose d'un seul mandrin et de deux chambres de traitement, permettant aux utilisateurs de graver et d'asher dans le même travail sans quitter le système. Il supporte des tailles de substrat de 2 à 6 pouces et des vitesses de rotation jusqu'à 11 000 tr/min. La plage de température du procédé est comprise entre -10 ° C et + 400 ° C, assurant la compatibilité avec presque tout type de processus de gravure et d'ashing. D'autres caractéristiques comprennent un écran LCD couleur interne 24 bits, une connectivité Ethernet avec le protocole de télécommande adressable réseau (NARC 2), une conception brevetée d'alimentation à faible consommation et une multitude de systèmes de sécurité, y compris un système intégré de notification de la pression d'éclatement et de protection contre les décharges électrostatiques (ESD). TCP 9400B offre une fiabilité, une précision et une répétabilité exceptionnelles. Sa technologie avancée de contrôle des processus et sa conception innovante en font un choix idéal pour les applications de gravure et de cendrage de précision.
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