Occasion LAM RESEARCH TCP 9408 SE #9178705 à vendre en France
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ID: 9178705
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2004
Poly etcher, 8"
Software version: 1.6.012A
SMIF System: (2) ASSYST
Process chemicals: SCCM
(1) AC Power box
(2) RF Racks
TCP RF Match part no: 853-032294-002
Bias RF match: 853-330951-001
ESC Power supply: 810-017086-018
Chamber manometer MKS make (All): E29B-23813
Turbo manometer MKS make (All): 625A-14375
Ref manometer MKS make (All): 625A-14059
Turbo pump: STPH1301L1B
TCP RF Gen.AE make(All): 660-024637-006 RFDS
Bias RF Gen.AE make( All): 3155027-003 B
Wafer drag back: Enable
Wafer offset alignment alignment: 310
Gas ring capacitance: 1300+/- 15 pf
Software version: 1.6.1
MFC Config.CL2-200 sccm: 200
MFC Config.O2-100 sccm: 100
MFC Config.HE/O2-20 sccm: 20
MFC Config.CF4-100 sccm: 100
MFC Config.HBR-500sccm: 500
MFC Config.SF6-100 sccm: 100
MFC Config.HE-500 sccm: 500
MFC Config.CL2-30 sccm: 30
TCP Coil position: 8 O'CLK
Turbo pump capacity: 1300L
Vat valve / Pendulum valve: Pendulum
2004 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9408 SE est un puissant équipement autonome de graveur et d'asher. Il s'agit d'un système de graveur et d'asher de plaques de silicium haute performance spécialement conçu pour répondre aux exigences les plus exigeantes de l'industrie des semi-conducteurs tout en offrant aux utilisateurs la capacité de traiter un large éventail de matériaux. L'unité est formée d'une plate-forme de précision, hautement automatisée, équipée d'une tête de gravure rotative haute vitesse et haute qualité, offrant une excellente uniformité plasma et réduisant le temps de gravure. Les caractéristiques de la machine comprennent une turbomachine à température contrôlée, permettant la gravure et l'ashing avec une répétabilité et une uniformité maximales, ainsi qu'un contrôle de processus haut de gamme, offrant aux utilisateurs la capacité de contrôler avec précision la vitesse de gravure, la surgravure, l'épaisseur du film et le point final. Le TCP 9408 SE est également équipé d'une paire de détecteurs embarqués avancés QCM/PCM/FIB et d'un spectromètre de masse hors-bord, qui permettent une détection précise du point d'extrémité, assurant une gravure et une cendre précises. En outre, l'outil est entièrement programmable, permettant aux utilisateurs de créer diverses recettes et de les stocker, ainsi que de les rappeler rapidement et d'effectuer la gravure et l'ashing avec un temps d'arrêt minimal. L'interface utilisateur est intuitive et conviviale, permettant aux opérateurs de contrôler et de surveiller l'ensemble du processus. En outre, une gamme d'outils de diagnostic et de suivi des processus disponibles au sein de l'interface utilisateur, permettant la sélection et l'examen du meilleur processus global. LAM RESEARCH TCP 9408 SE offre une gravure et un cendrage précis et robustes, permettant aux utilisateurs d'atteindre les niveaux les plus élevés d'uniformité de processus sans sacrifier le débit de processus. Cet atout est parfaitement adapté aux procédés de gravure et de cueillette tels que la gravure au silicium, le soulagement des contraintes et la pulvérisation dopante, et offre des performances supérieures pour tous les types de matériaux, y compris les diélectriques III-V et high-k. Dans l'ensemble, TCP 9408 SE est un excellent modèle de graveur et asher, ce qui améliore encore la répétabilité du processus, la productivité et la qualité de la fabrication de semi-conducteurs.
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