Occasion LAM RESEARCH TCP 9408 SE #9178706 à vendre en France

ID: 9178706
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2004
Poly etcher, 8" Process chambers: SCCM (2) RF Racks SMIF System: (2) Assyst AC Power box P/N: 853-0322294-002 Bias RF match: 853-025083-001 ESC Power supply: 810-017086-010 Chamber manometer. MKS make (All): 629B-22205 Turbo manometer MKS make (All): 625A11TDE Ref Manometer MKS make (All): 625A11TDE Turbo pump: STPA1303C TCP RF Gen. AE Make(AII): 660-024637-006 RFDS BIAS RF Gen.AE Make( All): 660-024637-013 HALO Wafer drag back: Enable Wafer offset alignment alignment: 280 Gas ring capacitance: 1175 +/-15 pf Software version: 1.6.012A MFC Config.CL2-200 seem: 200 MFC Config.02-100 seem: 100 MFC Config.HE/O2-20 seem: 20 MFC Config.CF4-100 seem : 100 MFC Config.HBR-500 sccm: 500 MFC Config.SF6-100 seem: 100 MFC Config.HE-500 seem: 500 MFC Config.CL2-30 seem: 30 TCP Coil position: 8 O * CLK Chiller used: BOC 40/80 Vat vale / Pendulum valve: VAT -64 Valve PC Pump: A30W Load lock pump: A30W Turbo pump capacity: 1300L 2004 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9408 SE est un équipement avancé de graveur/asher qui fournit le débit et le rendement les plus élevés pour les procédés avancés d'emballage MEMS, MEMS et Wafer-level (WLP). Le système utilise des techniques avancées de balayage et d'ablation au laser pour modeler des couches minces diélectriques et polyimides sur une gamme de substrats, y compris le verre, le quartz, le saphir, le CVD/PECVD et d'autres matériaux spécialisés. L'unité offre une précision de gravure et une répétabilité supérieures, permettant des définitions de caractéristiques plus précises, une répétabilité et un rendement plus élevé. La machine TCP 9408 SE a la capacité d'adapter les couches diélectriques et les couches polyimides les plus avancées avec la plus grande précision et répétabilité. L'outil est équipé d'un laser de haute puissance qui est calibré et focalisé sur le substrat, permettant à l'atout d'atteindre des capacités de fixation de haute résolution. Le processus d'ablation fiable et rapide du laser permet d'obtenir les motifs les plus complexes. Le modèle est équipé d'un équipement intégré de manutention des plaquettes, permettant un débit élevé. Ce système de manutention des plaquettes comprend un poste d'alignement des plaquettes, une unité de refroidissement des plaquettes et un poste d'échange des plaquettes. La station d'alignement comprend un contrôle de mouvement très précis et une détermination basée sur la vision de la position exacte du substrat pour une ablation laser précise. La station d'échange de plaquettes peut rapidement changer de substrats avec une interruption minimale du processus. La machine LAM RESEARCH TCP 9408 SE dispose également d'un contrôle et d'une surveillance automatisés des processus, garantissant que les paramètres du processus sont ajustés en temps réel pour une gravure et une ablation précises et répétables. Ce contrôle automatisé du processus est activé par un outil de vision laser de haute précision qui permet une cartographie tridimensionnelle du substrat avant ablation. Les paramètres d'ablation peuvent alors être facilement ajustés en fonction des spécifications du processus sans opération manuelle. L'actif est conçu pour répondre aux normes les plus strictes de l'industrie, avec un faible coût de propriété et une fiabilité supérieure. Afin d'assurer des résultats cohérents et élevés, le modèle est conçu pour être convivial et est soutenu par le soutien de l'industrie LAM RESEARCH. Cet équipement de pointe est parfait pour les applications complexes MEMS et WLP, et offre le plus haut débit et rendement disponible.
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