Occasion LAM RESEARCH TCP 9408 SE #9178706 à vendre en France
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ID: 9178706
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2004
Poly etcher, 8"
Process chambers: SCCM
(2) RF Racks
SMIF System: (2) Assyst
AC Power box
P/N: 853-0322294-002
Bias RF match: 853-025083-001
ESC Power supply: 810-017086-010
Chamber manometer. MKS make (All): 629B-22205
Turbo manometer MKS make (All): 625A11TDE
Ref Manometer MKS make (All): 625A11TDE
Turbo pump: STPA1303C
TCP RF Gen. AE Make(AII): 660-024637-006 RFDS
BIAS RF Gen.AE Make( All): 660-024637-013 HALO
Wafer drag back: Enable
Wafer offset alignment alignment: 280
Gas ring capacitance: 1175 +/-15 pf
Software version: 1.6.012A
MFC Config.CL2-200 seem: 200
MFC Config.02-100 seem: 100
MFC Config.HE/O2-20 seem: 20
MFC Config.CF4-100 seem : 100
MFC Config.HBR-500 sccm: 500
MFC Config.SF6-100 seem: 100
MFC Config.HE-500 seem: 500
MFC Config.CL2-30 seem: 30
TCP Coil position: 8 O * CLK
Chiller used: BOC 40/80
Vat vale / Pendulum valve: VAT -64 Valve
PC Pump: A30W
Load lock pump: A30W
Turbo pump capacity: 1300L
2004 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9408 SE est un équipement avancé de graveur/asher qui fournit le débit et le rendement les plus élevés pour les procédés avancés d'emballage MEMS, MEMS et Wafer-level (WLP). Le système utilise des techniques avancées de balayage et d'ablation au laser pour modeler des couches minces diélectriques et polyimides sur une gamme de substrats, y compris le verre, le quartz, le saphir, le CVD/PECVD et d'autres matériaux spécialisés. L'unité offre une précision de gravure et une répétabilité supérieures, permettant des définitions de caractéristiques plus précises, une répétabilité et un rendement plus élevé. La machine TCP 9408 SE a la capacité d'adapter les couches diélectriques et les couches polyimides les plus avancées avec la plus grande précision et répétabilité. L'outil est équipé d'un laser de haute puissance qui est calibré et focalisé sur le substrat, permettant à l'atout d'atteindre des capacités de fixation de haute résolution. Le processus d'ablation fiable et rapide du laser permet d'obtenir les motifs les plus complexes. Le modèle est équipé d'un équipement intégré de manutention des plaquettes, permettant un débit élevé. Ce système de manutention des plaquettes comprend un poste d'alignement des plaquettes, une unité de refroidissement des plaquettes et un poste d'échange des plaquettes. La station d'alignement comprend un contrôle de mouvement très précis et une détermination basée sur la vision de la position exacte du substrat pour une ablation laser précise. La station d'échange de plaquettes peut rapidement changer de substrats avec une interruption minimale du processus. La machine LAM RESEARCH TCP 9408 SE dispose également d'un contrôle et d'une surveillance automatisés des processus, garantissant que les paramètres du processus sont ajustés en temps réel pour une gravure et une ablation précises et répétables. Ce contrôle automatisé du processus est activé par un outil de vision laser de haute précision qui permet une cartographie tridimensionnelle du substrat avant ablation. Les paramètres d'ablation peuvent alors être facilement ajustés en fonction des spécifications du processus sans opération manuelle. L'actif est conçu pour répondre aux normes les plus strictes de l'industrie, avec un faible coût de propriété et une fiabilité supérieure. Afin d'assurer des résultats cohérents et élevés, le modèle est conçu pour être convivial et est soutenu par le soutien de l'industrie LAM RESEARCH. Cet équipement de pointe est parfait pour les applications complexes MEMS et WLP, et offre le plus haut débit et rendement disponible.
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