Occasion LAM RESEARCH TCP 9408 SE #9178710 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9178710
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2004
Poly etcher, 8"
Software version: 1.6.012A
SMIF System: (2) ASSYST
Process chms: (1) SCCM
Hardware configuration (Subfab / Auxilliary units):
(1) AC Power box
(2) RF Racks
2004 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9408 SE est un graveur/asher de précision avec un équipement de contrôle thermique avancé qui offre des processus de gravure, de cendrage et de gravure/cendres fiables. Ce système dispose de parois de chambre siliconées horizontalement pour réduire les chocs mécaniques, les plats et le rinçage à l'eau pure. Il est livré avec une interface utilisateur graphique conviviale et intuitive (interface graphique) qui simplifie grandement le fonctionnement. L'unité est conçue pour le traitement d'une grande variété de substrats, y compris le métal, le silicium, la céramique et le verre. TCP 9408 SE dispose d'une machine à chasse d'hélium qui offre un contrôle constant de la pression et de la température. Cet outil est conçu pour un débit maximum, avec un cycle de processus rapide, jusqu'à un maximum de 14 cycles de chambre par heure. La durée du processus de gravure/cendres varie de 5 à 7 minutes, selon le type de substrat et les paramètres du processus. En outre, l'actif a un maximum de 5 recettes de processus, permettant à l'utilisateur de sauvegarder et de rappeler des recettes pour différentes applications. LAM RESEARCH TCP 9408 SE dispose d'un design robuste, avec la capacité d'accueillir des pièces plus grandes et des charges de gravure/cendres plus élevées. Le modèle est capable de traiter jusqu'à 2 kg de matière, avec une taille de charge de 4 à 6 cm. Il comprend également des mouvements latéraux, de chambre motorisée et de couvercle pour accueillir différentes pièces de taille/forme. L'équipement TCP 9408 SE dispose d'une chambre de travail haute résolution, avec un étage chauffé de 1 micron. La chambre de procédé est chauffée électroniquement, avec une plage de température allant jusqu'à 1050 ° C De plus, le système présente un refroidissement optionnel de l'étage chauffé, avec une plage de refroidissement de -60 ° C L'unité offre une surveillance et un contrôle complets des paramètres de gravure/cendres ; la pression de chasse de l'hélium, la température et la vitesse de refroidissement. Il dispose également d'une machine automatique d'arrêt du cycle et de gestion du gaz, où l'utilisateur peut surveiller les paramètres du processus et le temps de cycle. LAM RESEARCH TCP 9408 SE possède une variété de caractéristiques de sécurité, y compris un couvercle de serrure de sécurité, un joint hermétique hermétique à double pincement, la détection d'Interlock et de surcharge, et un outil d'isolation des défauts. L'actif est conçu pour un contrôle optimal de l'environnement dangereux et la sécurité des utilisateurs, avec une gamme d'alarmes de protection et une disposition pour un blindage supplémentaire. En conclusion, TCP 9408 SE est un graveur/asher fiable et robuste avec un modèle de contrôle thermique avancé. Il offre une variété de paramètres de processus et de caractéristiques de sécurité, avec un temps de cycle de processus rapide et un débit élevé. L'équipement est capable de traiter une grande variété de substrats, avec une chambre de travail haute résolution et une interface graphique conviviale.
Il n'y a pas encore de critiques