Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 CFE #293809929 à vendre en France
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LAM RESEARCH TCP 9600 est un cendrier avancé conçu pour la fabrication de photomasques haute performance et le traitement d'appareils. Cet aspirateur est adapté à des applications telles que l'emballage semi-conducteur, l'optoélectronique, la fabrication de circuits intégrés (IC) et la fabrication de plaquettes collées. L'unité est généralement installée dans le cadre d'un équipement autonome ou d'un système de grappes. LAM RESEARCH TCP9600 est une unité de gravure à simple chambre, à cadre ouvert, composée d'une chambre de serrure et de deux chambres de gravure. Les chambres de gravure à l'eau forte sont équipées avec la pression haute et basse les sources de plasma d'AR/O2 et une anode tournante la source de HF. Les sources de plasma et de HF offrent une flexibilité permettant la gravure de différents matériaux avec des vitesses de gravure différentes. La machine est compatible avec des plaquettes de 6 pouces (150 mm) de diamètre et divers substrats spécialisés, dont le quartz, le saphir et d'autres. L'outil dispose d'un outil de détection en temps réel intégré (RED), qui permet au modèle de graver avec un haut niveau de précision. L'équipement RED automatise le processus de calibration, et les algorithmes d'apprentissage assurent des résultats de gravure optimaux. De plus, le système comprend un contrôle avancé des processus en boucle fermée, permettant à l'utilisateur d'optimiser sa détection finale. Dans l'unité TCP-9600, les algorithmes avancés de contrôle du mouvement du substrat permettent un positionnement précis du substrat et une gravure uniforme. Ces algorithmes tiennent également compte de la température du substrat, ce qui assure une génération de chaleur uniforme et une gravure uniforme. La machine est équipée de nombreuses mesures de sécurité, dont un outil intégré de verrouillage de sécurité, un bouton d'arrêt d'urgence et un atout de sécurité RF. Cela garantit un fonctionnement sûr et fiable de l'unité à tout moment. Ce modèle est conçu pour être facile à utiliser et à entretenir. L'équipement dispose d'écrans de fonctionnement simples, avec une rétroaction claire et compréhensible en cas d'erreurs de fonctionnement. Le système dispose également d'un contrôleur de température, d'un moniteur de température et d'un capteur de pression, permettant à l'utilisateur de suivre chaque processus. En outre, l'unité d'alerte d'erreur aide à la détection précoce de toute opération anormale. TCP9600 est un cendrier avancé et fiable, conçu pour la fabrication de photomasques haute performance et le traitement des dispositifs. L'unité fournit un emplacement précis du substrat, une gravure uniforme et des caractéristiques de sécurité avancées. Un fonctionnement et une maintenance simples simplifient encore l'utilisation de cette machine.
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