Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 CFE #9296670 à vendre en France

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ID: 9296670
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
Metal etcher, 8" DSQ Chamber Stand alone Handler type: Auto loader EQUIP Robot type End effecter SEMI: E84 AC Dist box Pre-aligner ESC Cables included 1997 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600 CFE est un graveur/asher avancé développé par LAM RESEARCH Corporation. Cet équipement intègre la technologie de gravure et de cendrage la plus récente. Il a une conception de productivité ultra élevée et fournit une plate-forme facile à utiliser qui facilite les processus de gravure et de cueillette rapides et fiables. LAM RESEARCH TCP 9600CFE est léger, mais très durable avec un fonctionnement en boucle fermée et basse pression qui permet d'assurer des processus de gravure et d'ashing cohérents. Il a un dépôt très uniforme sur une large gamme de substrats et dispose d'un contrôle des émissions optiques numériques à l'état solide grâce à un réseau de trois caméras vidéo couleur. Ce système numérique de contrôle des émissions contribue à garantir des résultats cohérents et fiables. Le TCP 9600 CFE est équipé de trois têtes électro-optiques à haut rendement qui utilisent la technologie avancée de torche à plasma et disposent d'une unité d'extraction de faisceau d'ions pour les processus de gravure et de cueillette de la plus haute qualité. Ceci permet une dégradation minimale du substrat et la réalisation d'une gravure en ligne fine et d'un rapport d'aspect élevé. TCP 9600CFE est une plate-forme modulaire évolutive qui peut être mise à niveau pour permettre le traitement d'une seule plaquette ou d'un lot et qui offre une synchronisation efficace entre plaquettes. Il offre également un positionnement de substrat multi-positionnel et peut facilement s'intégrer avec d'autres systèmes de support tels que la distribution de gaz et l'échappement. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH TCP 9600 CFE est un graveur/asher avancé conçu et fabriqué par LAM RESEARCH Corporation. C'est une machine légère et très durable avec un dépôt uniforme sur une large gamme de substrats et trois têtes électro-optiques à haut rendement. Il s'agit également d'une plate-forme évolutive et modulaire qui peut être mise à niveau pour permettre un traitement monobloc ou par lots et qui s'intègre facilement à d'autres systèmes de support tels que la distribution de gaz et les gaz d'échappement.
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