Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 SE #131567 à vendre en France
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LAM RESEARCH TCP 9600 SE est un équipement multi-chambres de graveur/asher utilisé pour les dispositifs semi-conducteurs, MEMS, et d'autres composants. Le système dispose d'une conception à trois chambres qui permet la gravure précise et le cendrage des composants critiques. La température dans chaque chambre peut être contrôlée pour assurer une température uniforme, et les paramètres du procédé sont réglables pour les différents substrats utilisés. L'unité de manutention de précision intégrée assure des résultats reproductibles, et la propreté de la machine est assurée par ses filtres à air particulaire (HEPA) à haut rendement. LAM RESEARCH TCP 9600SE est un outil fiable, sûr et efficace qui fournit un flux de gaz constant tout au long du processus de gravure et de cueillette. Il comprend également une tête de douche à quartz avec débit réglable, qui est capable de fournir un motif de gravure/cueillette uniforme, et il existe un actif de calibration automatisé qui peut être utilisé pour régler rapidement et facilement la taille, le motif et les paramètres de processus. La chambre de TCP 9600 SE est construite en acier inoxydable et est configurée avec une soufflante enthalpie qui fournit une douche à gaz à basse pression et à grande vitesse. La douche à gaz est utilisée pour distribuer uniformément les produits de gravure et de cueillette, ainsi que pour protéger les composants de la contamination. Le modèle comprend également un équipement de vide à anneau sec et à anneau humide qui assure des pressions et des températures constantes tout au long du processus de gravure et de cueillette. TCP 9600SE est conçu pour être utilisé avec différentes configurations de substrat. Il est compatible avec les substrats en aluminium, silicium et verre, ainsi que d'autres matériaux tels que l'acier inoxydable, le platine, le tungstène et l'or dur. D'autres substrats tels que le polyéthylène haute densité, le polyimide et le kapton peuvent également être utilisés avec le système. L'unité est conçue pour un entretien et une réparation faciles, et comprend un progiciel qui permet aux opérateurs de surveiller les performances de la machine afin d'assurer un temps de disponibilité maximal. LAM RESEARCH TCP 9600 SE dispose également d'une capacité de surveillance à distance, permettant aux techniciens d'accéder aux données et d'effectuer des ajustements au besoin, ainsi que d'accéder à une bibliothèque de recettes qui permettent de sélectionner et de mettre en œuvre rapidement des processus standard. En conclusion, LAM RESEARCH TCP 9600SE est une machine efficace et précise qui est parfaite pour graver et aspirer les composants dans les formes et tailles souhaitées. Avec ses contrôles de température avancés, ses systèmes de manutention de précision, sa distribution uniforme de gaz et ses logiciels personnalisables, il est un outil idéal pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.
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