Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 SE #293636060 à vendre en France

LAM RESEARCH TCP 9600 SE est un équipement de gravure plasma de pointe conçu pour des performances de gravure supérieures et une productivité élevée. Avec une longueur totale de chambre de 73 pouces, le système est capable de manipuler des plaquettes simples et double face avec une taille maximale de 6 pouces. La chambre est étanche sous vide et comprend une zone de gravure horizontale et une zone d'isolement pour contrôler le chargement du substrat pendant le processus de gravure. L'unité dispose également d'une chambre à température contrôlée qui maintient l'environnement de travail de la plaquette à son niveau optimal. LAM RESEARCH TCP 9600SE est équipé d'un multi-outils/stations entièrement intégré, d'un panneau de puissance principal de 350 volts et d'une gamme de collecteurs externes qui assurent un acheminement flexible du transport et une livraison de gaz de traitement (N2, H2, Ar). La machine utilise également une source de plasma couplé inductif haute résolution, qui est capable de fournir plasma haute densité d'énergie avec une excellente régulation de la puissance, permettant un meilleur contrôle du processus et une meilleure qualité de gravure. En outre, TCP 9600 SE est livré avec une suite logicielle intégrée, qui fournit aux utilisateurs un contrôle intuitif sur l'outil et permet à l'utilisateur de modifier les paramètres du processus, tels que la durée et les niveaux de puissance du plasma du cycle de gravure. Il comprend également un certain nombre de fonctions automatisées comme la vitesse automatique et la commande à distance, station d'éjection à distance pour le fonctionnement sous vide, et enregistrement automatique de substrat pour la gravure précise. TCP 9600SE dispose également d'une gamme de dispositifs de sécurité tels que les commandes de pression plasma et l'arrêt automatique d'urgence, qui assure la sécurité du personnel et de l'équipement.