Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 SE #293757625 à vendre en France
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ID: 293757625
Etcher, 8"
APM
Bias
Operator interface: Bulk head
Indexer: Hine 38A
715-331131-002 Fixed gao middle chamber
716-330122-003 Plate top ceramic
853-032190-008 TCP Matcher
853-330951-021 Bias matcher
Wafer clamping : ESC (Notch)
RF Generator
Chamber manometer: 3Torr
ALCATEL ATH-1300M Turbo pump
Pressure controller
Main: Vat valve, 64 PM and PM5
MDVX-018 & AC-2 DSQ
DSQ Hinged
DSQ Matcher
Heated paddle
WVDS Manual fill
Chamber heater controller: 12 Loop external anafaze
Orbitally welded gas box: (8) Gases
Closed loop He Cooling: UPC8130 and Tylan CDL-12S13 (20 Torr)
Remote power module: Main 175A Remote
Power module
C/B Hardware
Load station:
Belt type shuttle
Standard edge
Detector
Load lifter.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE est un graveur ou asher conçu pour les processus à grande vitesse et est un type de technologie de banc humide. Cet graveur peut réaliser des procédés tels que la gravure plasma et la cueillette en une seule chambre, les matériaux gravés et cendrés étant livrés séparément sur la même plate-forme. Le 9600 SE offre une vitesse de gravure standard de 5 microns/min et une vitesse de cueillette allant jusqu'à 100 microns/min. Le graveur à plasma utilise un procédé d'aide à l'induction basse fréquence et un débit constant pour assurer l'uniformité des matériaux gravés ou cendrés. L'unité dispose d'un contrôleur intégré de pointe chargé de contrôler le processus de génération du plasma. Le contrôleur est relié à l'unité avec une série de capteurs qui retournent la température, la pression et d'autres conditions afin d'assurer un processus de gravure ou de cueillette cohérent. Le contrôleur peut également assurer le fonctionnement automatisé du processus plasma et contrôler les paramètres utilisés lors du processus de gravure ou de cueillette. LAM RESEARCH TCP 9600SE est conçu pour être facile à utiliser et à entretenir par rapport à d'autres systèmes de gravure ou d'ashing sur banc humide. L'unité est conçue ergonomiquement avec une hauteur facilement réglable qui peut répondre à une variété de besoins de l'utilisateur. Le 9600 SE dispose également d'une interface utilisateur intuitive pour saisir les paramètres de gravure et d'ashing, permettant un ajustement rapide des paramètres ou du fonctionnement. Le graveur ou asher est construit avec une chambre en acier inoxydable, permettant un nettoyage cohérent et fiable. La chambre est chauffée à puissance variable pour maintenir une température de gravure ou de cendre constante. Une cloche d'extension permet d'ajouter des boules de gravure ou de cendre supplémentaires lorsque du matériel supplémentaire est nécessaire. Le TCP 9600 SE est équipé d'une hotte à fumées multifonctions, pour capter les fumées dangereuses résultant des processus de gravure ou de cueillette. Le capot est conçu pour être facilement réglable, offrant une variété de configurations de flux d'air pour répondre à une variété de besoins de collecte de matières dangereuses. Dans l'ensemble, TCP 9600SE est un graveur ou un asher efficace sur banc humide conçu pour une exploitation efficace et rentable. L'unité est un choix fiable pour ceux qui nécessitent des processus à grande vitesse et qui veulent utiliser un graveur ou un asher facile à utiliser et à entretenir.
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