Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 SE #293820921 à vendre en France
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LAM RESEARCH TCP 9600 SE est un graveur/asher avancé utilisé pour le traitement critique de la surface et de l'appareil. Cet équipement de gravure et de cendrage perfectionné est conçu pour permettre la fabrication de plaquettes de précision avec un risque minimal de bio-contamination et le plus haut niveau de contrôle global du débit et du processus. LAM RESEARCH TCP 9600SE est adapté à une variété d'applications, y compris la RTP, la gravure, la désoxydation, les procédés de diffusion et la cendre de plasma. Le TCP 9600 SE est constitué d'un seul boîtier avec quatre chambres indépendantes. Chaque chambre contient une source de plasma, du matériel de blindage, un ascenseur privé et un panneau de contrôle de purge atmosphérique. Le système dispose également d'une trappe à température contrôlée pour créer un environnement contenant de la poussière. Il est capable de traiter jusqu'à dix plaquettes à la fois et les plaquettes peuvent être dimensionnées jusqu'à 200mm de diamètre. L'unité est équipée de plusieurs processus de gravure et d'ashing avancés qui peuvent être personnalisés pour répondre aux besoins de l'application individuelle. Cela inclut une technologie avancée de contrôle du plasma, en évitant tout dépôt direct sur les zones sensibles des puces et en maintenant une vitesse de dépôt uniforme. gravure et cendrage assistés par laser ainsi que des systèmes de refroidissement avancés. Ces technologies permettent à la machine de fournir des résultats exceptionnels de gravure de précision et de cendres tout en contrôlant la température, créant un environnement de recuit sans ancrage. L'outil comprend également des algorithmes avancés qui permettent de protéger les plaquettes contre les problèmes de contamination, d'optimiser les recettes de gravure et de cendres, et de surveiller les paramètres et la qualité des résultats du processus. Le développement de la recette est optimisé pour une reproductibilité et une qualité maximales du procédé. Dans l'ensemble, TCP 9600SE est un puissant atout de gravure et de cendres qui peut fournir des résultats exceptionnels dans une variété d'applications. Ses fonctionnalités avancées, telles que le contrôle du plasma, la gravure assistée par laser et les systèmes de refroidissement avancés, permettent au modèle de fournir des résultats de gravure et d'ashing précis et de qualité. L'équipement a été conçu pour être facile à utiliser, à entretenir et à fournir les meilleurs résultats globaux de traitement.
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