Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9095942 à vendre en France

LAM RESEARCH TCP 9600 SE est un équipement à haute performance de gravure ionique réactive (RIE) et asher conçu pour fournir un contrôle dimensionnel serré et une uniformité de processus. Ce système comprend un volume élevé, une chambre de processus intégrée et un loadlock automatisé qui en font une solution rentable pour la production de volume. LAM RESEARCH TCP 9600SE dispose également d'un contrôle avancé des procédés, de multiples recettes de procédés et de sous-systèmes automatisés qui en font un partenaire fiable pour les applications de fabrication à haut volume. TCP 9600 SE dispose d'une chambre de procédé avancée, qui est conçu pour fournir des taux de gravure élevés et une uniformité de processus supérieure, tout en offrant une large gamme de produits chimiques de gravure et de cendrage disponibles. La chambre spacieuse permet également un débit de processus plus élevé et des coûts moindres. Cette unité dispose également d'une machine de serrure entièrement intégrée qui est conçue pour permettre un chargement rapide des échantillons. TCP 9600SE comprend également un porte-plaquettes automatisé à grande vitesse et un outil de manutention qui assure une protection supérieure des plaquettes tout au long du processus de gravure et de cueillette. LAM RESEARCH TCP 9600 SE est équipé d'un outil avancé de contrôle des processus qui permet un contrôle précis de la recette pour une uniformité et une répétabilité optimales des processus. Ce modèle offre plusieurs recettes de processus, ce qui permet à l'utilisateur de personnaliser le processus de gravure et d'ashing pour leur application spécifique. L'équipement de contrôle des processus de LAM RESEARCH TCP 9600SE tient également compte de la planéité des plaquettes afin de maximiser l'uniformité des gravures. TCP 9600 SE comporte une variété de surveillance et de métrologie in situ, y compris des mesures d'alignement optique et d'émissions spectroscopiques. Ce système dispose également d'un écran tactile et d'une interface graphique qui permet à l'utilisateur de surveiller et d'ajuster les paramètres du processus. TCP 9600SE est conçu pour être compatible avec la majorité des produits chimiques de gravure et d'ashing disponibles et est livré avec une gamme complète d'accessoires, y compris un loadlock et des composants de manutention des plaquettes pour un chargement rapide et répétable des échantillons. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH TCP 9600 SE est une unité de gravure et de cendrage avancée qui offre un débit de processus élevé, un contrôle dimensionnel serré et un contrôle et une uniformité de processus supérieurs. Sa machine à loadlock entièrement automatisée, ses multiples recettes de procédés et ses fonctions de métrologie in situ en font un partenaire fiable pour les applications industrielles à haut volume.