Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9095946 à vendre en France

LAM RESEARCH TCP 9600 SE est une chambre de procédé de gravure/asher avancée conçue pour soutenir les procédés de gravure, de nettoyage et de passivation spécialisés utilisés dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. LAM RESEARCH TCP 9600SE fournit un contrôle précis et fiable des processus au niveau des plaquettes et est équipé de la technologie de chambre de processus semi-conducteur la plus récente, y compris des algorithmes avancés de contrôle des processus, un générateur RF intégré et des logiciels avancés. TCP 9600 SE est conçu spécifiquement pour la gravure, le nettoyage et la passivation des surfaces des dispositifs semi-conducteurs. La chambre est équipée d'un contrôle de la température et de la pression, d'un moniteur d'oxygène, d'une chambre in situ propre, d'une filtration automatisée des fluides et d'une technologie avancée de générateur RF pour la gravure et l'activation du plasma. La chambre de procédés offre également une gestion avancée de la contamination des matériaux à l'aide d'outils numériques avancés tels que les techniques d'isolation des défauts, la traçabilité et le contrôle numérique du mélangeur/actionneur. L'équipement TCP 9600SE offre un contrôle avancé des procédés et peut être configuré pour supporter une variété de procédés spécialisés, y compris le dépôt de film, par gravure, gravure à basse température, gravure humide, gravure de puisard à espace sombre, diffusion de type tas et temps de cycle optimisé par gravure. Le système dispose également d'un générateur RF intégré qui permet un réglage précis du niveau de puissance et des paramètres plasmatiques pour garantir la qualité du produit. LAM RESEARCH TCP 9600 SE est capable de traiter jusqu'à 300mm de plaquettes, et est équipé de deux chambres de traitement en quartz, d'un générateur RF, d'une unité de filtrage automatisé des fluides et d'une machine de visualisation des processus. L'outil offre des dispositions de sécurité complètes, y compris un arrêt d'urgence et un bouton E-Stop pour mettre fin aux processus et prévenir les dommages de la machine. La chambre de processus est également équipée d'un logiciel avancé qui permet à un utilisateur de surveiller la performance des actifs et d'optimiser les recettes de processus d'une manière personnalisable. Le logiciel fournit également des rapports complets sur les modèles, y compris des informations sur les recettes, les températures des éléments, les niveaux de comburant, la pression, le niveau de puissance RF et d'autres caractéristiques de processus. LAM RESEARCH TCP 9600SE etcher/asher est conçu pour des applications avancées de gravure, de nettoyage et de passivation. Ses algorithmes avancés de contrôle des processus, son générateur RF intégré et ses logiciels numériques permettent un contrôle précis et fiable des processus au niveau des plaquettes, ce qui en fait un outil industriel important pour l'industrie des semi-conducteurs.