Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9095947 à vendre en France

LAM RESEARCH TCP 9600 SE
ID: 9095947
Taille de la plaquette: 8"
Al etcher, 8".
LAM RESEARCH TCP 9600 SE etcher/asher est un outil de procédé automatisé de haute performance conçu pour les applications semi-conductrices dans la gravure et le cendrage. Il est utilisé pour obtenir des résultats supérieurs dans la gravure des métaux, la gravure anisotrope silicate (ASE), avancée via la formation, et les procédés de cendrage diélectrique. LAM RESEARCH TCP 9600SE est équipé d'un système exclusif de surveillance visuelle à distance, permettant aux utilisateurs de surveiller et d'évaluer les résultats des processus à distance. Sa source de dépôt physique en phase vapeur (PVD) permet une meilleure uniformité des films et un meilleur contrôle des procédés. TCP 9600 SE comprend un plateau hydrodynamique, permettant des résultats plus rapides et plus précis ainsi qu'un débit de processus accru. Ce système est complété par un système intégré de séparation à trois zones ; un plateau en polymère sous pression à haute pression, à basse température ; et un module de gravure chauffé qui permet aux utilisateurs d'atteindre des taux de gravure plus élevés. De plus, TCP 9600SE intègre une multitude d'outils et de fonctionnalités internes, tels qu'un bloc de vanne multifonctionnel et un système de vide intégré, un traceur de plaquettes et un générateur RF. Toutes ces caractéristiques font de LAM RESEARCH TCP 9600 SE l'un des systèmes de graveur/asher les plus puissants et les plus fiables du marché.
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