Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9153019 à vendre en France
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ID: 9153019
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
Etcher, 8"
SMIF Indexer
Auto loader
Auto fill WVDS & hinged DQS
SEIKO SEIKI STP-H1000L Turbo molecular pump
1996 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE etcher/asher est un outil performant, économique et fiable pour la gravure/cueillette de matériaux semi-conducteurs. Cette machine est capable de graver/ashing dans les zones de gravure planaire et verticale en utilisant des sources à courant continu (DC) ou radio-fréquence (RF). La chambre de procédé de l'graveur est construite en acier inoxydable, offrant un environnement stable et sûr pour le traitement des plaquettes semi-conductrices sensibles et fortement structurées. La 9600 SE est équipée d'un moteur et d'un ventilateur programmables puissants, permettant un contrôle précis et précis des conditions de processus pendant le processus de gravure/ashing. L'équipement utilise une source de gaz/vide avancée pour fournir un profil de gravure/cendres uniforme sur toute la surface de la plaquette. Différents flux de gaz et pressions peuvent être configurés pour répondre à un large éventail de besoins de gravure, permettant un haut degré de contrôle. De plus, l'graveur est équipé d'électrodes différentes, permettant d'appliquer des énergies cinétiques différentes selon le matériau à graver, permettant à la machine d'atteindre un niveau de performance élevé et constant. Les capacités de cendrage de précision de la 9600 SE permettent un cendrage extrêmement précis des caractéristiques de haut rapport d'aspect. La chambre de procédé avancée du système est conçue pour minimiser les dommages de surface et optimiser le processus de gravure/cueillette. En outre, l'etcher dispose d'une unité de transfert automatisé de plaquettes avancée, permettant une manipulation à grande vitesse des plaquettes avec un temps d'attente minimal. Les capacités de programmation de la 9600 SE offrent à l'utilisateur le contrôle total du processus gravure/cendres, avec des processus automatisés permettant un débit élevé sans aucun compromis sur la qualité. La machine est équipée de dispositifs de sécurité haut de gamme, intégrant divers systèmes de surveillance tels que l'imagerie thermique et l'analyse du débit d'air, assurant que l'exploitant est conscient de tout problème potentiel avant qu'ils ne deviennent critiques. En outre, l'outil utilise des logiciels intelligents de collecte et de stockage de données, permettant aux utilisateurs de surveiller et de contrôler facilement les paramètres du processus. LAM RESEARCH TCP 9600SE etcher/asher est une solution de gravure/ashing extrêmement polyvalente, fiable et économique, idéale pour des applications de haute performance et à haut débit. Avec ses capacités de programmation sophistiquées, ses capacités de processus avancées et ses fonctions de sécurité complètes, le 9600 SE est un excellent choix pour les applications gravures/cendres.
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